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G100/200系列 多軸轉臺是兩軸或者三軸萬向節系統(Gimbal)平臺。C軸可以獨立轉動,當B軸旋轉時C軸會跟隨旋轉;當A軸旋轉時B和C軸跟隨A軸轉動。G1...
SLM1500系列 機械龍門系統是笛卡爾雙驅龍門系統,它采用交流無刷直線電機驅動,配置非接觸式光柵尺,具備非常優秀的動態性能和定位精度。SLM1500-500-...
HRMS系列機械轉臺是高精度的360度連續轉臺,采用直驅電機驅動,選用精密滾珠軸承,具備非常優秀的動態性能和定位精度。HRMS系列采用杰出的工業化設計,外觀精致...
CFTCA系列機械直線臺是納米級定位精度的XY一體式精密定位平臺,直線電機驅動,采用精密交叉滾柱導軌,具備非常優秀的動態性能和定位精度,空載截至頻率可達100H...
地心科技LAB210系列 氣浮直驅直線臺是納米級定位精度的氣浮平臺,采用直線電機驅動,利用空氣彈性勢能作為支撐導軌,具備非常優秀的動態性能和定位精度,空載截止頻...
ART130-20G系列 機械直驅轉臺 偏擺臺是高精度的直驅偏擺臺,采用旋轉電機直驅控制,選用精密交叉滾珠導軌,具備非常優秀的動態性能和定位精度,空載截止頻率最...
Surface系列 平面氣浮是地心科技高精度和高動態性能平面氣浮平臺,它是XY雙氣浮軸承正負壓設計,采用空氣環繞型預載,利用空氣負壓來平衡氣浮導軌往上浮和下壓預...
晶圓檢測運動臺是XYZT 4軸一體式精密定位平臺,XYZ采用直線電機驅動,選用精密交叉滾柱導軌,具備非常優秀的性能和定位精度,XY軸空載截止頻率可達120Hz以...
定制運動臺是XYZT 4軸一體式精密定位平臺,XYZ采用直線電機驅動,選用精密交叉滾柱導軌,具備非常優秀的性能和定位精度,XY軸空載截止頻率可達120Hz以上,...
運動平臺是XYZT 4軸一體式精密定位平臺,XYZ采用直線電機驅動,選用精密交叉滾柱導軌,具備非常優秀的性能和定位精度,XY軸空載截止頻率可達120Hz以上,具...
多軸運動臺是XYZT 4軸一體式精密定位平臺,XYZ采用直線電機驅動,選用精密交叉滾柱導軌,具備非常優秀的性能和定位精度,XY軸空載截止頻率可達120Hz以上,...
光耦合運動臺是XYZT 4軸一體式精密定位平臺,XYZ采用直線電機驅動,選用精密交叉滾柱導軌,具備非常優秀的性能和定位精度,XY軸空載截止頻率可達120Hz以上...
中空平臺是地心科技高精度和高動態性能平面氣浮平臺,它是XY雙氣浮軸承正負壓設計,采用空氣環繞型預載,利用空氣負壓來平衡氣浮導軌往上浮和下壓預載力,保證氣浮面的正...
位移臺是Z/Theta 兩軸一體式精密定位平臺,Z軸利用雙直線電機驅動,采用雙氣缸配重,可以根據負載重量靈活調整氣壓。Z軸選用精密交叉滾柱導軌,具備非常優秀的性...
YZX130系列氣浮直驅轉臺是高精度側向安裝直驅轉臺,旋轉軸采用自研S型電機直驅,具有響應速度快,定位精度高的特點。YZX130采用直驅非接觸式電機和編碼器技術...
ZR100系列 定制運動系統是Z/Theta 兩軸一體式精密定位平臺,Z軸利用雙直線電機驅動,采用雙氣缸配重,可以根據負載重量靈活調整氣壓。Z軸選用精密交叉滾柱...
VC60-5系列 電動直驅升降臺是納米級定位精度的托舉運動升降平臺,直線電機驅動,采用交叉滾柱導軌,具備非常優秀的動態性能和定位精度,空載截止頻率可達120Hz...
Surface系列 平面氣浮平臺是地心科技高精度和高動態性能平面氣浮平臺,它是XY雙氣浮軸承正負壓設計,采用空氣環繞型預載,利用空氣負壓來平衡氣浮導軌往上浮和下...
LART系列 機械直驅轉臺是重負載型,大中空尺寸,高精度的360度連續轉臺,采用旋轉電機直驅控制,相比常規蝸輪蝸桿轉臺,它的旋轉速度會快很多,而且無齒輪間隙,有...
SMH560LM系列 直線電機機械臺采用直線電機驅動,直驅電機特點主要有速度快、動態性能好、摩擦力小,易于實現精密位置控制,非常適合大行程,高速度和高精度應用。...
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