中空平臺(tái)是地心科技高精度和高動(dòng)態(tài)性能平面氣浮平臺(tái)，它是XY雙氣浮軸承正負(fù)壓設(shè)計(jì)，采用空氣環(huán)繞型預(yù)載，利用空氣負(fù)壓來(lái)平衡氣浮導(dǎo)軌往上浮和下壓預(yù)載力，保證氣浮面的正常氣隙，幾何性能非常出色，俯仰和偏擺角度均小于2角秒。

雙氣浮軸承設(shè)計(jì)提升Surface系列氣浮平臺(tái)的負(fù)載能力和剛度，一階自然響應(yīng)頻率可達(dá)330Hz以上，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上，使其具備高速高效運(yùn)動(dòng)，同時(shí)又能減少步進(jìn)穩(wěn)定時(shí)間。

中空平臺(tái)雙驅(qū)軸與橫梁軸均采用空氣導(dǎo)軌的H橋式結(jié)構(gòu)，零摩擦設(shè)計(jì)保證了出色的動(dòng)態(tài)性能和效率，速度可達(dá)2m/s，加速度2g。Surface 系列平臺(tái)行程可以根據(jù)客戶要求定制，還可與Surface Z 、Surface Theta組合為X-Y-Z-Theta的多軸系統(tǒng)， 適用于不同尺寸的和工藝的晶圓檢測(cè)應(yīng)用。

Surface系列平臺(tái)最小步進(jìn)和在位穩(wěn)定性測(cè)試

10nm最小步進(jìn)（ASH反饋，配置線性放大器）

備注

（1）適配-ASH反饋，配置線性放大器；

（2）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器，速度受限于反饋分辨率；

（3）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過(guò)濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮?dú)狻鈮焊鶕?jù)平臺(tái)實(shí)際負(fù)載重量可調(diào)；

（5）為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開(kāi)關(guān)，信號(hào)輸入到運(yùn)動(dòng)控制器連接急停（E-STOP）端口。