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ART130SZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-Z向單軸是納米級定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)平臺，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)...

ART130XY系列 直線電機(jī)機(jī)械臺是納米級定位精度的XY一體式運(yùn)動(dòng)平臺，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)10...

ASML系列 氣浮轉(zhuǎn)臺是高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。除了市場前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運(yùn)動(dòng)性能外，ASML氣浮轉(zhuǎn)...

ASP系列 氣浮轉(zhuǎn)臺高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。除了市場前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運(yùn)動(dòng)性能外，ASP氣浮轉(zhuǎn)臺還提...

CFTCA系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-XY是納米級定位精度的XY一體式精密定位平臺，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截至頻率...

CUBE-4系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是XYZT 4軸一體式精密定位平臺，XYZ采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，選用精密交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的性能和定位精度，XY軸空載截止頻率...

FLAT-XY系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-XY是納米級定位精度的XY一體式運(yùn)動(dòng)平臺，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)...

LPAR系列 機(jī)械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是大中空尺寸、高精度360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直驅(qū)控制，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，相比常規(guī)蝸輪蝸桿轉(zhuǎn)臺，它速度快，無齒輪間...

RAB系列 氣浮轉(zhuǎn)臺是高精度高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。除了市場前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運(yùn)動(dòng)性能外，RAB系列...

RSML系列 機(jī)械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直驅(qū)控制，選用精密滾珠軸承，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截至頻率可達(dá)100Hz以上。...

RSMT系列 機(jī)械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直驅(qū)控制，選用精密滾珠軸承，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。RSMT系列轉(zhuǎn)臺采用杰出的工業(yè)化...

SMH165SD系列 絲杠驅(qū)動(dòng)直線臺是可靈活配置的機(jī)械直線運(yùn)動(dòng)平臺，采用交流無刷伺服電機(jī)加滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，速度可達(dá)300mm/s。SMH165SD系列平臺可以作水...

Surface-Theta系列 機(jī)械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直驅(qū)控制，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。Surface-Theta系列轉(zhuǎn)...

ZTT200系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是垂直升降與水平調(diào)平三軸一體式精密定位平臺，利用三個(gè)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用精密球形鉸鏈耦合，具備非常優(yōu)秀的微動(dòng)精度和動(dòng)態(tài)性能，整體高度...

YZX130系列 直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是高精度側(cè)向安裝直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，旋轉(zhuǎn)軸采用自研S型電機(jī)直驅(qū)，具有響應(yīng)速度快，定位精度高的特點(diǎn)。YZX130采用直驅(qū)非接觸式電機(jī)和編碼器技術(shù)，...

SC5系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是高度集成的直線軸和旋轉(zhuǎn)軸一體的精密運(yùn)動(dòng)平臺，直線軸采用自研直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)軸采用地心科技自研的大扭力S型電機(jī)直驅(qū)，具有響應(yīng)速度快，定...

SC2系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是高度集成的直線軸和旋轉(zhuǎn)軸一體的精密運(yùn)動(dòng)平臺，直線軸采用自研直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)軸采用自研S型電機(jī)直驅(qū)，具有響應(yīng)速度快，定位精度高的特點(diǎn)。...

SC1系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是高度集成的直線軸和旋轉(zhuǎn)軸一體的精密運(yùn)動(dòng)平臺，直線軸采用自研直線電機(jī)直驅(qū)，旋轉(zhuǎn)軸采用自研S型電機(jī)直驅(qū)，具有響應(yīng)速度快，定位精度高的特點(diǎn)。...

FAP系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)由高精度ART95系列直線納米運(yùn)動(dòng)平臺與ART130-20G系列直驅(qū)擺臺集合而成六自由度串行結(jié)構(gòu)，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載...

SurfaceZ系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺是納米級定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)Z向平臺，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)200...