晶圓檢測運動臺是XYZT 4軸一體式精密定位平臺，XYZ采用直線電機驅動，選用精密交叉滾柱導軌，具備非常優秀的性能和定位精度，XY軸空載截止頻率可達120Hz以上，具備很好的速度穩定性，在4軸疊加的臺面上方利用干涉儀5K的采樣頻率測試CUBE-4 勻速段位置誤差，每0.5mm 位置動態跟隨誤差STD標準差小于50nm。Z軸空載截止頻率可達200Hz以上。Theta軸采用旋轉直驅電機，配備圓形導軌和光柵，兼具高轉速和高精度。此外，Theta軸采用下沉隱藏式設計，使得CUBE-4整體高度較低，工作點下降有利于實際應用中提高定位精度。

此外，Z軸可在30ms內步進100μm，整定到±50nm。CUBE-4是一款兼具點到點的靜態精度，同時具備非常突出的動態精度，可以適應對動態誤差要求嚴格的生物或者晶圓檢測掃描應用，Z軸可以根據傳感器工作距高度實時高速調整，解決客戶的運動控制難題。

CUBE-4系列四軸平臺動態性能測試

干涉儀5k采樣頻率動態測試：XY勻速段位置跟隨誤差，每0.5mm STD標準差小于50nm

CUBE-4系列四軸平臺最小步進測試

Z軸步進100μm ，30ms內整定到±50nm

晶圓檢測運動臺備注

（1）平行或垂直于楔形塊方向測量；

（2）空載測試；

（3）沿軸線方向受力；

（4）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（5）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（6）其他行程可定制。