SMH560LM系列 直線電機機械臺采用直線電機驅動，直驅電機特點主要有速度快、動態性能好、摩擦力小，易于實現精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應用。  

SMH560LM系列 直線電機機械臺使用高分辨率光柵，電子分辨率可達1nm，通過校準可使平臺達到亞微米級重復性和定位精度。而低摩擦側密封保護其免受灰塵或顆粒污染，保證其長時間正常運行，延長維護周期。SMH560LM系列為客戶提供線纜管理選項，低摩擦側封使日常維護更簡易。  

SMH560LM系列直線運動平臺是精密機械中的關鍵部件之一，它采用雙電機驅動，持續推力664N，峰值推力4480N，適用于重負載，高速度和加速度的應用，主要應用于OLED切割、PCB鉆孔、數控加工、生物技術、IC封裝設備、表面形貌測量等領域。為客戶提供一個兼具精密定位，高速度和大負載的精密運動平臺。  

SMH560LM系列平臺最小步進和在位穩定性測試

20nm最小步進（實驗室環境，配置線性放大器測試）

±10nm在位穩定性（實驗室環境，配置線性放大器測試）

備注

(1)適配-AS反饋，以及線性放大器；

(2)空載，需配置相應功率的放大器；

(3)默認測試點位置為臺面上方25mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

(4)其他行程可定制。