Surface系列 平面氣浮平臺是地心科技高精度和高動態性能平面氣浮平臺，它是XY雙氣浮軸承正負壓設計，采用空氣環繞型預載，利用空氣負壓來平衡氣浮導軌往上浮和下壓預載力，保證氣浮面的正常氣隙，幾何性能非常出色，俯仰和偏擺角度均小于2角秒。

雙氣浮軸承設計提升Surface系列氣浮平臺的負載能力和剛度，一階自然響應頻率可達330Hz以上，空載截止頻率可達100Hz以上，使其具備高速高效運動，同時又能減少步進穩定時間。

Surface系列 平面氣浮平臺雙驅軸與橫梁軸均采用空氣導軌的H橋式結構，零摩擦設計保證了出色的動態性能和效率，速度可達2m/s，加速度2g。Surface 系列平臺行程可以根據客戶要求定制，還可與Surface Z 、Surface Theta組合為X-Y-Z-Theta的多軸系統， 適用于不同尺寸的和工藝的晶圓檢測應用。

Surface系列平臺最小步進和在位穩定性測試

10nm最小步進（ASH反饋，配置線性放大器）

備注

（1）適配-ASH反饋，配置線性放大器；

（2）空載，需配置相應功率的放大器，速度受限于反饋分辨率；

（3）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平臺實際負載重量可調；

（5）為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關，信號輸入到運動控制器連接急停（E-STOP）端口。