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瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元

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上海茂碩機械設(shè)備有限公司
2025-07-17 13:16:56
上海市
125

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

【簡單介紹】

應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元

產(chǎn)品概述
型號：VAT 95.3

類型：集成式高真空閥組（控制閥+隔離閥組合）

品牌：VAT Group（瑞士真空技術(shù)專家）

設(shè)計理念：緊湊型模塊化設(shè)計，減少管路連接點，提升系統(tǒng)可靠性

典型應(yīng)用：半導(dǎo)體刻蝕/沉積設(shè)備、光伏鍍膜系統(tǒng)、科研真空裝置

【詳細說明】

瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元

1. 產(chǎn)品概述

型號：VAT 95.3
類型：集成式高真空閥組（控制閥+隔離閥組合）
品牌：VAT Group（瑞士真空技術(shù)專家）
設(shè)計理念：緊湊型模塊化設(shè)計，減少管路連接點，提升系統(tǒng)可靠性
典型應(yīng)用：半導(dǎo)體刻蝕/沉積設(shè)備、光伏鍍膜系統(tǒng)、科研真空裝置

2. 核心組成與配置

組件	技術(shù)特性
主控制閥	VAT 54.1系列金屬密封角閥（漏率<1×10?? mbar·l/s）
隔離閥	VAT 10.4系列閘閥（快開型，響應(yīng)時間<100ms）
集成法蘭	ISO-KF/CF標(biāo)準(zhǔn)，可選DN40~200口徑
傳感器接口	預(yù)留真空計/壓力傳感器安裝位（支持Pirani/電容式）
控制模塊	可選本地PLC或遠程通信（PROFIBUS/DeviceNet）

3. 關(guān)鍵性能參數(shù)

參數(shù)	指標(biāo)	測試標(biāo)準(zhǔn)
真空范圍	10?? mbar ~ 大氣壓	DIN 28400
整體漏率	<5×10?? mbar·l/s	氦質(zhì)譜檢漏
溫度適應(yīng)性	-20°C ~ +150°C（烘烤兼容）	SEMI F47
材料兼容性	316L不銹鋼+Al?O?鍍層（耐等離子體）	ASTM G31
循環(huán)壽命	>10?次（主閥）	MIL-STD-810G

4. 技術(shù)優(yōu)勢

① 系統(tǒng)集成優(yōu)化

減少傳統(tǒng)分立閥門間的連接法蘭，漏率降低50%
內(nèi)置流道優(yōu)化設(shè)計，流阻系數(shù)降低30%

② 智能控制功能

可選配閥位傳感器（精度±0.5%）
支持壓力-流量閉環(huán)控制（需搭配MFC）

③ 維護便捷性

模塊化設(shè)計，單個閥門更換時間<30分鐘
正面維護接口，無需拆卸整個真空腔室

5. 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用案例

設(shè)備類型	功能實現(xiàn)	VAT 95.3定制方案
等離子刻蝕機	工藝腔室壓力分段控制	增加WF?專用鍍層
ALD系統(tǒng)	前驅(qū)體氣體脈沖注入	集成快速響應(yīng)閥（<30ms）
離子注入機	束線真空隔離	無磁化材料版本

6. 安裝與調(diào)試指南

安裝規(guī)范：

使用激光對中儀確保安裝平面度<0.1mm/m
所有螺栓按十字交叉順序緊固（扭矩值見下表）

法蘭規(guī)格	扭矩值（Nm）	緊固順序
ISO-KF DN63	8~10	對角線漸進
CF 4.5"	15~18	星型模式

調(diào)試流程：

初始抽真空至10?3 mbar，保壓測試24小時
進行50次空載循環(huán)測試
校準(zhǔn)壓力傳感器零點

7. 維護計劃

維護項目	周期	操作規(guī)范
密封面檢查	每季度	使用VAT專用內(nèi)窺鏡（P/N：INS-100）
潤滑脂更換	每10?次循環(huán)	使用VAC-LUBE 200特種潤滑脂
全面性能檢測	年度	需原廠認證工程師執(zhí)行

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1. 產(chǎn)品概述

2. 核心組成與配置

3. 關(guān)鍵性能參數(shù)

4. 技術(shù)優(yōu)勢

5. 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用案例

6. 安裝與調(diào)試指南

7. 維護計劃

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