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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001

公司名稱：
更新時間：
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瀏覽次數：

上海茂碩機械設備有限公司
2025-07-17 11:55:11
上海市
德國
1655

具體成交價以合同協議為準

【簡單介紹】

應用領域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001
產品基本信息
型號：61332-KEAF-0001

品牌：VAT Group（瑞士，真空閥領域）

類型：高真空蝶形控制閥（氣動驅動，金屬密封）

【詳細說明】

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001

1. 核心參數概覽

參數類別	詳細規格
型號	61332-KEAF-0001
類型	氣動驅動高真空蝶形控制閥（金屬密封）
真空范圍	工作壓力：10?? mbar 至大氣壓（兼容超高真空/XHV）
漏率	<1×10?? mbar·l/s（金屬密封版）
溫度范圍	-20°C 至 +150°C（標準）/ 可選高溫版至 +250°C（金屬密封）
閥體材質	316L不銹鋼（電解拋光，表面粗糙度 Ra ≤ 0.8 μm）
密封材質	標準：全金屬密封（無彈性體）可選：氟橡膠（FKM，適用于非等離子體環境）
驅動方式	氣動執行（單作用彈簧復位/雙作用）響應時間：<100 ms（全開至全關）
法蘭標準	ISO-KF、CF 或定制法蘭（SEMI標準兼容）
控制信號	可選：4-20mA模擬量反饋、數字信號（RS485）

2. 機械與結構設計

閥體與密封系統

蝶板設計：

采用低慣量鈦合金蝶板，減少顆粒生成，適合潔凈環境（符合SEMI F47標準）。
動態平衡結構，降低氣流擾動對晶圓工藝的影響。

密封技術：

金屬密封：金包覆不銹鋼密封圈，耐高溫烘烤（≤150°C持續），抗等離子體腐蝕。
彈性體密封（可選）：FKM材質，適用于非腐蝕性氣體環境（漏率略高，約10?? mbar·l/s）。

執行機構

氣動模塊：

標配氣壓范圍：4-6 bar（干燥空氣或氮氣驅動）。
可選防爆設計（ATEX認證）。

位置反饋：

高精度電位器或霍爾傳感器，實時監控閥門開度（精度±0.5%）。

3. 性能曲線與關鍵指標

流量特性

Cv值：0.8（全開時，介質為空氣）。
流量調節比：100:1（線性控制區間）。

真空保持能力

真空級別	漏率要求	61332-KEAF-0001實測數據
高真空（HV）	<10?? mbar·l/s	<5×10?? mbar·l/s
超高真空（XHV）	<10?? mbar·l/s	<1×10?? mbar·l/s（金屬密封）

4. 半導體行業應用詳解

典型設備集成

工藝設備	功能角色	配套型號要求
刻蝕機（Etch）	腐蝕性氣體隔離（Cl?/HBr）	金屬密封+等離子體防護涂層
ALD/CVD	前驅體氣體精準控制	快速響應（<50 ms）+高線性度
離子注入機	束線真空隔離	超高真空密封（XHV級）
晶圓傳輸模塊	Loadlock快速抽真空	大口徑（可選VAT 48系列配合）

兼容性數據

氣體介質：

兼容腐蝕性氣體（WF?、NH?、SiH?等），需指定鍍層（如PTFE或Al?O?）。

顆?？刂?/span>：

符合ISO 14644-1 Class 4潔凈度要求（每立方米≤3520顆粒，粒徑≥0.5 μm）。

5. 安裝與維護指南

安裝要點

法蘭對接：

使用無應力安裝工具，避免閥體變形（扭矩限制：≤10 Nm）。

氣路連接：

氣源需配備0.1 μm過濾器，防止顆粒污染。

維護周期

常規檢查：

每3個月檢查密封面磨損（金屬密封壽命約10?次循環）。

深度維護：

每2年或50萬次循環后更換密封圈（原廠維修包編號：VAT-MK-61332）。
優勢供應：

商品編號61338-PEAE-0001

商品編號61348-PECN-0001

商品編號61340-PECE-0001

商品編號61344-PAAX-0001

商品編號61344-PEAX-0001

商品編號 61350-PAAK-0001

商品編號61338-PAAN-0001

商品編號61348-PAAQ-0001

61336-PACX-0001

61336-PACE-0001

61348-PEAQ-0001

61340-PECX-0001

61340-PACF-0001

61350-PAGQ-0001

61344-PACQ-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001


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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001

1. 核心參數概覽

2. 機械與結構設計

閥體與密封系統

執行機構

3. 性能曲線與關鍵指標

流量特性

真空保持能力

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兼容性數據

5. 安裝與維護指南

安裝要點

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