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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001

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上海茂碩機械設備有限公司
2025-07-17 12:29:28
上海市
126

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【簡單介紹】

應用領域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001
產品概述
型號：61344-PEGN-0001

類型：氣動高真空蝶形調節閥（金屬密封，快響應型）

品牌：VAT Group（瑞士真空閥門技術）

核心特點：超高真空兼容性、耐等離子體腐蝕、毫秒級響應

適用領域：半導體刻蝕/ALD、光伏鍍膜、科研真空系統

【詳細說明】

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001

1. 產品概述

型號：61344-PEGN-0001
類型：氣動高真空蝶形調節閥（金屬密封，快響應型）
品牌：VAT Group（瑞士真空閥門技術）
核心特點：超高真空兼容性、耐等離子體腐蝕、毫秒級響應
適用領域：半導體刻蝕/ALD、光伏鍍膜、科研真空系統

2. 關鍵參數

參數	技術指標
真空范圍	10?1? mbar ~ 大氣壓（XHV級）
漏率	<5×10?1? mbar·l/s（金屬密封版）
閥體材質	316L不銹鋼（電解拋光，Ra≤0.5μm）
蝶板材質	鈦合金鍍Al?O?（抗等離子體腐蝕）
密封類型	全金屬密封（金包覆Inconel）
驅動方式	雙作用氣動（可選電動執行器）
響應時間	<30 ms（全開至全關）
溫度范圍	-20°C ~ +250°C（烘烤兼容）
法蘭標準	ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8"
控制信號	4-20mA/PROFIBUS DP（可選）

3. 核心技術亮點

① 等離子體防護設計

Al?O?鍍層蝶板可耐受Cl?/HBr/SF?等離子體侵蝕
特殊流道設計減少顆粒生成（符合SEMI F47標準）

② 超快動態響應

優化氣路設計實現<30ms開關速度
適用于ALD設備的脈沖式氣體控制

③ 智能控制系統

集成高精度位置傳感器（分辨率0.1%）
可選數字通信接口（支持遠程監控）

4. 半導體行業典型應用

設備類型	功能角色	特殊要求
原子層沉積(ALD)	前驅體氣體脈沖控制	響應時間<50ms
等離子刻蝕(Etch)	腐蝕性氣體隔離	Al?O?鍍層+雙密封
離子注入機	束線真空分段控制	無磁化設計（鈦合金材質）
EUV光刻機	真空維持與顆粒控制	超潔凈版本（特殊表面處理）

5. 安裝與維護指南

安裝規范：

使用激光對中儀確保閥體安裝偏差<0.05mm
氣路需配置0.1μm過濾器（VAT P/N: FLT-100M）
使用前進行10次空載循環測試

維護計劃：

每季度：密封面清潔（使用VAT專用清潔劑）
每50萬次循環：更換驅動機構潤滑脂
每2年：氦質譜檢漏測試（建議原廠校準）

6. 同系列型號對比

特性	61344-PEGN-0001	61340-PACX-0001	61332-KEAF-0001
響應速度	<30 ms	<50 ms	<100 ms
耐溫性	+250°C	+200°C	+150°C
密封類型	金屬+二次密封	金屬密封	金屬密封
典型應用	EUV/ALD	刻蝕設備	通用真空系統

行業認證

SEMI F47（電壓暫降免疫）
CE/UL/ROHS認證
ISO 14644-1 Class 4潔凈度
商品編號61346-PAAK-0001
商品編號61334-KAAH-0001
商品編號61340-PACQ-0001
商品編號61336-PEAH-0001
商品編號61340-PEAH-0001
商品編號61344-PEAQ-0001
商品編號61346-PEGF-0001
商品編號61328-KECQ-0001
商品編號61332-KEGE-0001
商品編號61348-PECF-0001
商品編號61332-KECF-0001
商品編號61350-PACE-0001
商品編號61346-PECH-0001
商品編號61346-PEM1-0001
商品編號61336-PEGQ-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001


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1. 產品概述

2. 關鍵參數

3. 核心技術亮點

4. 半導體行業典型應用

5. 安裝與維護指南

6. 同系列型號對比

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