產(chǎn)品展示

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

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上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
2025-07-17 12:21:56
上海市
95

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

【簡(jiǎn)單介紹】

應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001
產(chǎn)品概述
型號(hào)：61334-KEAE-0001

類型：高真空蝶形控制閥（氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)，金屬密封）

品牌：VAT Group（瑞士，真空閥門制造商）

適用領(lǐng)域：半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、科研設(shè)備等

【詳細(xì)說明】

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

1. 產(chǎn)品概述

型號(hào)：61334-KEAE-0001
類型：高真空蝶形控制閥（氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)，金屬密封）
品牌：VAT Group（瑞士真空閥門制造商）
適用領(lǐng)域：半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、科研設(shè)備等

2. 核心參數(shù)

參數(shù)	規(guī)格
真空范圍	10?? mbar 至大氣壓（超高真空兼容）
漏率	<1×10?? mbar·l/s（金屬密封）
閥體材質(zhì)	316L不銹鋼（電解拋光，Ra ≤ 0.8 μm）
密封材質(zhì)	全金屬密封（金包覆不銹鋼，耐高溫烘烤）
驅(qū)動(dòng)方式	氣動(dòng)執(zhí)行（單/雙作用可選）
響應(yīng)時(shí)間	<100 ms（全開至全關(guān)）
溫度范圍	-20°C 至 +150°C（標(biāo)準(zhǔn)），可選高溫版（+250°C）
法蘭標(biāo)準(zhǔn)	ISO-KF、CF 或定制（SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容）
控制信號(hào)	可選4-20mA / 0-10V 反饋，或數(shù)字通信（RS485）

3. 產(chǎn)品特點(diǎn)

? 超高真空性能

適用于XHV（10?? mbar）環(huán)境，滿足半導(dǎo)體ALD、離子注入等嚴(yán)苛工藝需求。

? 耐腐蝕設(shè)計(jì)

金屬密封（可選PTFE增強(qiáng)涂層），兼容Cl?、HBr、WF?等腐蝕性氣體。

? 快速響應(yīng)

<100 ms開關(guān)速度，適用于動(dòng)態(tài)氣體控制（如CVD脈沖沉積）。

? 長壽命

機(jī)械壽命 >10?次循環(huán)，維護(hù)周期長，降低設(shè)備停機(jī)時(shí)間。

4. 典型應(yīng)用

行業(yè)	設(shè)備/工藝	作用
半導(dǎo)體	刻蝕（Etch）、ALD/CVD	高真空隔離，氣體流量精準(zhǔn)控制
光伏	PECVD、濺射鍍膜	快速抽真空，維持腔室壓力穩(wěn)定
科研	同步輻射、電子顯微鏡	超高真空環(huán)境下的氣流調(diào)節(jié)

5. 安裝與維護(hù)

安裝要點(diǎn)

法蘭對(duì)接：使用無應(yīng)力安裝工具，避免閥體變形（扭矩≤10 Nm）。
氣路連接：確保氣源潔凈（推薦0.1 μm過濾器）。

維護(hù)建議

常規(guī)檢查：每3個(gè)月檢查密封面磨損情況。
深度維護(hù)：每2年或50萬次循環(huán)后更換密封組件（原廠維修包可選）。

常見問題（FAQ）

Q1：能否替代61332-KEAF-0001？
→ 可以，但需確認(rèn)密封材質(zhì)是否匹配（KEAF為金屬密封，其他型號(hào)可能不同）。

Q2：是否支持EUV光刻機(jī)應(yīng)用？
→ 支持，但需選配超潔凈版本（低顆粒釋放，需特殊訂貨）。

Q3：最小起訂量（MOQ）？
→ 原廠1臺(tái)起訂

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

商品編號(hào)61336-PAAE-0001

商品編號(hào)61336-PEGF-0001

商品編號(hào)61338-PAGX-0001

商品編號(hào)61336-PECX-0001

商品編號(hào)661334-KACX-000

商品編號(hào)61340-PEGF-0001

商品編號(hào)61340-PEGQ-0001

商品編號(hào)61338-PEAK-0001

商品編號(hào)61344-PEAE-0001

商品編號(hào)61328-KEAX-0001

商品編號(hào)61332-KEAX-0001

商品編號(hào)61328-KEGF-0001

商品編號(hào)61348-PECK-0001

商品編號(hào)61346-PEGX-0001

商品編號(hào)61344-PACX-0001


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1. 產(chǎn)品概述

2. 核心參數(shù)

3. 產(chǎn)品特點(diǎn)

4. 典型應(yīng)用

5. 安裝與維護(hù)

安裝要點(diǎn)

維護(hù)建議

常見問題（FAQ）

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