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瑞士VAT61.6 - 高真空蝶形控制和隔離閥

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  • 上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
  • 2025-08-06 13:10:25
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【簡(jiǎn)單介紹】

3C閥門(mén)類別 工業(yè) 流動(dòng)方向 其他
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,航空航天,電氣,綜合
瑞士VAT61.6 - 高真空蝶形控制和隔離閥
61.6 HV控制蝶閥提供出色的壓力控制和隔離性能。在所有條件下都有出色的壓力控制和隔離作用

【詳細(xì)說(shuō)明】

瑞士VAT61.6 - 高真空蝶形控制和隔離閥

在所有條件下都有出色的壓力控制和隔離作用

61.6 HV控制蝶閥提供出色的壓力控制和隔離性能。憑借其快速而精確的動(dòng)作控制器（0.45秒），它是CVD工藝中精細(xì)控制和隔離的解決方案。蝶板作為一個(gè)節(jié)流元件，改變了閥口的傳導(dǎo)性。61.6的集成壓力控制器計(jì)算出所需的板塊位置，以盡可能快地達(dá)到設(shè)定的壓力。

61.6系列的隔離功能是專門(mén)為避免蝶閥的較高的密封磨損而設(shè)計(jì)的。通過(guò)它的中心外板軸以及閥體和密封座的特殊幾何形狀，密封摩擦降到低，密封性能得到提高。

61.6系列已經(jīng)安裝在數(shù)以千計(jì)的各種工藝條件下的苛刻應(yīng)用中，已經(jīng)證明了其出色的可靠性。61.6系列具有堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和直接安裝選項(xiàng)，以及減少和方便的維護(hù)，在所有方面都表現(xiàn)優(yōu)異。

本體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、密封材料、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定PI下流/軟泵）方面的各種設(shè)計(jì)選項(xiàng)簡(jiǎn)化了61.6系列與各種真空應(yīng)用的整合。

61.6 HV控制蝶閥有硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁或不銹鋼材質(zhì)，并配有ISO-KF和ISO-F標(biāo)準(zhǔn)法蘭接頭。可以集成客戶定制的法蘭，以及特殊功能，如集成加熱器與絕緣。可根據(jù)要求提供FFKM/FKM彈性體（FKM為標(biāo)準(zhǔn)）。

61.6高壓蝶形控制和隔離閥的主要特點(diǎn)

特點(diǎn):

    • 壓力控制和隔離

    • 運(yùn)行非常快

    • 板載軟件，用于本地運(yùn)行

    • 惡劣工藝條件下可實(shí)現(xiàn)可靠運(yùn)行

優(yōu)勢(shì):

    • 工藝可控性更好

    • 正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)/性能不受限

    • 運(yùn)行成本低

瑞士VAT61.6 - 高真空蝶形控制和隔離閥

尺寸
DN 40 ("), DN 50 (2"), DN 63 ("),
DN 80 (3"), DN 100 (4")
驅(qū)動(dòng)器
帶有步進(jìn)電機(jī)的集成控制器， 面向現(xiàn)場(chǎng)的控制(foc)
閥體材料
硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁或不銹鋼
標(biāo)準(zhǔn)法蘭
ISO-KF, ISO-F
泄漏率：閥體硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁
不銹鋼		< 1 × 10-5 mbar ls-1
< 1 × 10-9 mbar ls-1
泄漏率：閥座硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁
不銹鋼		< 1 × 10-4 mbar ls-1
< 1 × 10-9 mbar ls-1
壓力范圍硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁
不銹鋼		< 1 × 10-6 mbar 至 1.2 bar (abs)
< 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)
維護(hù)前開(kāi)關(guān)次數(shù)1)壓力控制
隔離		200 萬(wàn)次
25 萬(wàn)次 (DN 40-50)
10 萬(wàn)次 (DN 63-100)
溫度閥體
控制器		≤ 120 °C
最大 50℃（建議 ≤35℃）
材料鋁閥體/閥板
不銹鋼閥體/軸		EN AW-6082 (3.2315)
AISI 316L (1.4404 或 1.4435)
密封閥板
饋通件		氟橡膠
氟橡膠
饋通件
旋轉(zhuǎn)饋通件
安裝位置
閥座側(cè)朝向艙室

瑞士VAT61.6 - 高真空蝶形控制和隔離閥

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