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瑞士VAT真空閥-真空多閥裝置

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上海茂碩機械設備有限公司
2025-08-06 13:28:14
上海市
22

具體成交價以合同協議為準

【簡單介紹】

3C閥門類別	工業	流動方向	其他
應用領域	能源,電子/電池,航空航天,電氣,綜合

瑞士VAT真空閥-真空多閥裝置
組合閥和閥組在一個單元中提供了不同閥門功能的組合。其優點是：減少了密封圈的數量，從而減少了潛在的泄漏點，非常緊湊，節省空間的設計，與單個閥門的裝配相比，更快、更容易裝配。

【詳細說明】

瑞士VAT真空閥-真空多閥裝置

瑞士VAT是真空閥門制造商，專注于高精度真空閥的設計與生產，產品廣泛應用于半導體、光伏、平板顯示、科研等領域，以高可靠性、長壽命和密封性能著稱。

1. 公司背景

2. 核心產品系列

(1) 單閥產品

系列型號：

角閥（如VAT 54系列）：適用于高真空（HV）和超高真空（UHV）環境。
直通閥（如VAT 47系列）：低流阻設計，適合快速抽真空。
閘閥（如VAT 19系列）：金屬密封，耐高溫（可達450°C），用于半導體工藝腔室。
調節閥：精確控制氣體流量，用于工藝壓力調節。

技術參數：

泄漏率：<10?? mbar·l/s（金屬密封）。
材質：不銹鋼、鋁合金，表面鍍鎳或電解拋光。
驅動方式：氣動、電動或手動。

(2) 多閥裝置（Multi-Valve Systems）

設計特點：

集成多個閥門（如隔離閥、旁抽閥、主泵閥）于單一模塊，簡化真空系統布局。
模塊化設計，支持定制化組合（如VAT Lockfast®系列）。
快速響應（開關時間可低至50ms）。

典型應用：

半導體刻蝕/沉積設備的多腔室隔離。
光伏鍍膜系統的真空路徑切換。

3. 核心技術優勢

密封技術：

金屬密封（無彈性材料）適用于高溫和腐蝕性環境。
彈性密封（如氟橡膠）用于經濟型應用。

驅動系統：

氣動執行器標配防爆設計，電動執行器支持PLC控制。

智能控制：

支持PROFINET、EtherCAT等工業協議，實時監控閥門狀態。

4. 典型應用領域

半導體制造：晶圓傳輸腔室、刻蝕設備。
光伏產業：PECVD、ALD設備的真空隔離。
科研裝置：同步輻射光源、粒子加速器。
工業真空：鍍膜機、熱處理設備。

5. 選型參考

關鍵參數：

通徑尺寸（DN16至DN400）。
壓力范圍（從大氣壓到10?1? mbar）。
兼容氣體（腐蝕性/惰性氣體）。

認證標準：

SEMI F47（半導體設備抗電壓波動標準）。
CE/UL認證。

6. 服務與支持

提供定制化設計、快速交付及全球技術支持。
在線配置工具（如VAT Configurator）輔助選型。

瑞士VAT真空閥-真空多閥裝置


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瑞士VAT真空閥-真空多閥裝置

1. 公司背景

2. 核心產品系列

(1) 單閥產品

(2) 多閥裝置（Multi-Valve Systems）

3. 核心技術優勢

4. 典型應用領域

5. 選型參考

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