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當(dāng)前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>微納加工平臺-圖形發(fā)生>>光刻/鍵合系統(tǒng)>> EVG 540 BondingEVG 540 自動晶圓鍵合

EVG 540 自動晶圓鍵合

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號EVG 540 Bonding

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

更新時間:2024-09-25 16:29:41瀏覽次數(shù):982次

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產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池
單腔或雙腔晶圓鍵合系統(tǒng),用于小批量生產(chǎn)

EVG 540  Automated Wafer Bonding System

EVG 540  自動晶圓鍵合系統(tǒng)

 

全自動晶圓鍵合系統(tǒng),適用于zui300 mm的基板

 

EVG540自動化晶圓鍵合系統(tǒng)是一種自動化的單腔室生產(chǎn)鍵合機,設(shè)計用于中試線生產(chǎn)以及用于晶圓級封裝,3D互連和MEMS應(yīng)用的大批量生產(chǎn)的研發(fā)。 EVG540基于模塊化設(shè)計,為我們未來的晶圓鍵合工藝從研發(fā)到大規(guī)模生產(chǎn)的全集成生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)過渡提供了可靠的解決方案。

 

特征

單室粘合機,zui大基板尺寸為300 mm

SmartView MBA300兼容

自動處理多達四個粘合卡盤

符合高安全標準

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

zui大加熱器尺寸:300毫米

裝載室:2

軸機器人

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