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當前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>微納加工平臺-圖形發生>>光刻/鍵合系統>> GEMINI Wafer BondingAutomated Production Wafer Bonding

Automated Production Wafer Bonding

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號GEMINI Wafer Bonding

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地北京市

更新時間:2024-09-25 16:33:15瀏覽次數:921次

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產地類別 進口 應用領域 電子/電池
集成的模塊化大批量生產系統,用于對準晶圓鍵合;GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統可實現zui高水平的自動化和過程集成。

GEMINI   Automated Production Wafer Bonding System

GEMINI 自動化生產晶圓鍵合系統

 

集成的模塊化大批量生產系統,用于對準晶圓鍵合

 

GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統可實現zui高水平的自動化和過程集成。批量生產的晶圓對晶圓對準和zui200毫米(300毫米)的晶圓鍵合工藝都在一個全自動平臺上執行。器件制造商受益于產量增加,集成度高以及陽極,硅熔融,熱壓和共晶鍵合等多種鍵合工藝方法。

 

 

特征

全自動集成平臺,用于晶圓對晶圓對準和晶圓鍵合

底部,IRSmartView對齊的配置選項

多個粘接室

晶圓處理系統與鍵卡盤處理系統分開

帶有交換模塊的模塊化設計

結合了EVG精密對準儀和EVG 500系列系統的所有優勢

與獨立系統相比,占用空間zui

可選的過程模塊:

LowTemp™等離子活化

晶圓清洗

外套模塊

紫外線粘合模塊

烘烤/冷卻模塊

對齊驗證模塊

 

技術數據

zui大加熱器尺寸:150200300毫米

裝載室5

軸機器人

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