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當前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>微納加工平臺-圖形發生>>光刻/鍵合系統>> Automated Bond AlignmentEVG 6200 BA自動鍵對準系統

EVG 6200 BA自動鍵對準系統

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號Automated Bond Alignment

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地北京市

更新時間:2024-09-25 16:39:46瀏覽次數:882次

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產地類別 進口 應用領域 電子/電池
EVG粘合對準系統提供了zui高的精度,靈活性和易用性,模塊化升級功能,并且已經在眾多高通量生產環境中進行了認證。

EVG 6200BA  Automated Bond Alignment System

EVG 6200∞BA自動鍵對準系統

 

用于晶圓間對準的自動化鍵合對準系統,用于中試和批量生產

 

EVG粘合對準系統提供了zui高的精度,靈活性和易用性,模塊化升級功能,并且已經在眾多高通量生產環境中進行了認證。 EVG鍵對準器的精度可滿足MEMS生產和3D集成應用等新興領域中zui苛刻的對準過程。

 

特征

適用于所有EVG 200 mm粘合系統

支持zui200 mm晶片尺寸的雙晶片或三晶片堆疊的鍵合對準

手動或電動對中平臺,帶有自動對中選項

全電動高分辨率底面顯微鏡

基于Windows 的用戶界面

選件

自動對齊

紅外對準,用于內部基板鍵對準

NanoAlign 封裝可增強處理能力

可與系統機架一起使用

面罩對準器的升級可能性

 

技術數據

常規系統配置

桌面

系統機架:可選

隔振:被動

對準方法:背面對齊:±2 µm 3σ  透明對準:±1 µm 3σ

紅外校準:選件

對準階段:精密千分尺:手動;     可選:電動千分尺

楔形補償:自動

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