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當前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>微納加工平臺-圖形發生>>光刻/鍵合系統>> EVG Bond AlignmentEVG 620BA 自動鍵對準系統

EVG 620BA 自動鍵對準系統

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號EVG Bond Alignment

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地北京市

更新時間:2024-09-25 16:37:43瀏覽次數:860次

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產地類別 進口 應用領域 電子/電池
用于晶圓間對準的自動鍵合對準系統,用于研究和試生產

EVG 620 BAAutomated Bond Alignment System

EVG 620BA  自動鍵對準系統

 

用于晶圓間對準的自動鍵合對準系統,用于研究和試生產

 

EVG620鍵合對準系統以其高度的自動化和可靠性而聞名,專為zui150 mm晶片尺寸的晶片間對準而設計。

EV Group的鍵合對準系統具有zui高的精度,靈活性和易用性,以及模塊化升級功能,并且已經在眾多高通量生產環境中進行了認證。 EVG的鍵對準系統的精度可滿足MEMS生產和3D集成應用等新興領域中zui苛刻的對準過程。

 

 

特征

zui適合EVG 501EVG 510EVG 520IS粘合系統

支持zui150 mm晶片尺寸的雙晶片或三晶片堆疊的鍵對準

手動或電動對準臺

全電動高分辨率底面顯微鏡

基于Windows 的用戶界面

在不同晶圓尺寸和不同鍵合應用之間快速更換工具

選件

自動對齊

紅外對準,用于內部基板鍵對準

NanoAlign 封裝可增強處理能力

可與系統機架一起使用

面罩對準器的升級可能性

 

技術數據

常規系統配置

桌面

系統機架:可選

隔振:被動

對準方法:背面對齊:±2 µm 3σ  透明對準:±1 µm 3σ

紅外校準:選件

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