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EVG 520IS晶圓鍵合

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號EVG 520 IS Bonding

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

更新時間:2024-09-25 16:27:38瀏覽次數(shù):1397次

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EVG 520IS晶圓鍵合,單腔或雙腔晶圓鍵合系統(tǒng),用于小批量生產(chǎn)。

EVG 520IS晶圓鍵合單腔或雙腔晶圓鍵合系統(tǒng),用于小批量生產(chǎn)。

EVG520 IS單腔單元可半自動操作zui大200 mm的晶圓,適用于小批量生產(chǎn)應用。 EVG520 IS根據(jù)客戶反饋和EV Group的持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新進行了重新設計,具有EV Group專有的對稱快速加熱和冷卻卡盤設計。諸如獨立的頂側(cè)和底側(cè)加熱器,高壓鍵合能力以及與手動系統(tǒng)相同的材料和工藝靈活性等優(yōu)勢,為所有晶圓鍵合工藝的成功做出了貢獻。


EVG 520IS晶圓鍵合特征

全自動處理,手動裝卸,包括外部冷卻站

兼容EVG機械和光學對準器

單室或雙室自動化系統(tǒng)

全自動的邦定工藝執(zhí)行和邦定蓋移動

集成式冷卻站可實現(xiàn)高產(chǎn)量


選項

高真空能力(1E-6毫巴)

可編程質(zhì)量流量控制器

集成冷卻


技術(shù)數(shù)據(jù)

zui大接觸力:10、20、60、100 kN

zui小基板尺寸單芯片100毫米

真空:標準:1E-5 mbar

可選:1E-6 mbar

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