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GEMINI 自動化生產晶圓鍵合系統

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號EVG

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地北京市

更新時間:2024-09-25 14:47:47瀏覽次數:509次

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應用領域 電子/電池,航空航天,電氣
集成的模塊化大批量生產系統,用于對準晶圓鍵合

GEMINI®  Automated Production Wafer Bonding System

GEMINI®自動化生產晶圓鍵合系統

 

集成的模塊化大批量生產系統,用于對準晶圓鍵合

 

GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統可實現高水平的自動化和過程集成。批量生產的晶圓對晶圓對準和大200毫米(300毫米)的晶圓鍵合工藝都在一個全自動平臺上執行。器件制造商受益于產量增加,集成度高以及陽極,硅熔融,熱壓和共晶鍵合等多種鍵合工藝方法。

 

 

特征

全自動集成平臺,用于晶圓對晶圓對準和晶圓鍵合

底部,IR或SmartView對齊的配置選項

多個粘接室

晶圓處理系統與鍵卡盤處理系統分開

帶有交換模塊的模塊化設計

結合了EVG精密對準儀和EVG®500系列系統的所有優勢

與獨立系統相比,占用空間小

可選的過程模塊:

LowTemp™等離子活化

晶圓清洗

外套模塊

紫外線粘合模塊

烘烤/冷卻模塊

對齊驗證模塊

 

技術數據

大加熱器尺寸:150、200、300毫米

裝載室5

軸機器人

 綁定模塊4

 預處理模塊

200毫米:4

300毫米:6


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