KLA Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D和3D測量，以及2D翹曲度和應力。創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高垂直分辨率、長程垂直測量范圍和微力控制測量能力。

KLA Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀探針接觸式測量技術的優(yōu)點是可以進行接觸式直接測量，與材料特性無關。多種力度調節(jié)和探針選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。該探針測量選項能夠對您的工藝進行量化，以確定添加或去除的材料量，并通過測量粗糙度和應力來確定結構的任何變化。

功能

• 臺階高度：納米級到 1200 微米

• 微力：0.03 至 15 mg

• 視頻：5MP高分辨率彩色相機

• 梯形失真校正：可消除側視視圖造成的失真

• 弧形校正：可消除探針的弧形運動引起的誤差

• 小巧的尺寸：系統(tǒng)占用體積小

• 軟件：用戶友好的軟件界面

應用

• 臺階高度：2D和3D臺階高度

• 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

• 形狀：2D和3D翹曲度和形狀

• 應力：2D薄膜應力

工業(yè)

• 高校、實驗室和研究所

• 半導體和化合物半導體

• LED：發(fā)光二極管

• 太陽能板

• MEMS：微機電系統(tǒng)

• 汽車

• 醫(yī)療設備