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KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)先進的集成式表面和光致發(fā)光(PL)缺陷檢測系統(tǒng)可以捕獲各種關(guān)鍵襯底和外延缺陷。采用統(tǒng)計制程控制(SP...

KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統(tǒng)第二代集成式光致發(fā)光和表面檢測系統(tǒng)，設(shè)計用于對碳化硅和氮化鎵襯底上的外延缺陷進行高級表征。采用統(tǒng)計制...

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)它使用多通道檢測和基于規(guī)則的缺陷分類，對不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、...

KLA Candela® 7100系列缺陷檢測和分類系統(tǒng)為硬盤驅(qū)動器基板和介質(zhì)提供了高級缺陷檢測和分類功能。7100系列硬盤驅(qū)動器缺陷檢測和分類系統(tǒng)以...

KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)為金屬或玻璃數(shù)據(jù)存儲基板和成品介質(zhì)提供了先進的量測和檢測功能。隨著數(shù)據(jù)存儲制造商努力通過進一步...