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當(dāng)前位置：德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司>>產(chǎn)品展示>>KLA/科磊>>光學(xué)輪廓儀
KLA Zeta™-388光學(xué)輪廓儀提供3D量測和成像功能，與集成防震臺和晶圓操作系統(tǒng)結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技術(shù)...
KLA Zeta™-300光學(xué)輪廓儀可提供3D 量測和成像功能，與集成式防震臺和靈活的配置相結(jié)合，可以處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot&trade...
全新的KLA Zeta™-Solar光學(xué)輪廓儀專為滿足優(yōu)良金屬化工藝中對于細(xì)柵線、接觸墊和主柵線的測量需求而設(shè)計(jì)。更為優(yōu)良的3D 成像技術(shù)，以及最大...
KLA Zeta™-20光學(xué)輪廓儀是一個高度集成的光學(xué)輪廓顯微鏡，可在緊湊、耐用的包裝下提供3D量測和成像功能。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技...
KLA Filmetrics® Profilm3D® 光學(xué)輪廓儀和 Profilm3D-200 光學(xué)輪廓儀經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，是一套非接觸式基于白光干...
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