CFT-XY系列 直線電機機械臺-XY是納米級定位精度的XY一體式精密定位平臺，直線電機直驅控制，采用精密交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。CFT-XY系列平臺有杰出的工業化設計，外觀設計及幾何尺寸非常合理，同時全行程平面度和直線度小于±1.5μm。其中CFT-200XY系列平臺動態性能佳，以40mm/s的速度做直徑2.2mm的圓形軌跡運動，動態跟隨誤差小于0.5μm， 是精密激光加工和飛拍掃描檢測的優選平臺。

CFT-XY系列 直線電機機械臺-XY結構精致，有較強的驅動能力，上軸速度可達800mm/s，空載加速度可達1g。采用線性放大器和ASH反饋，實驗室環境做好振動隔離的前提下，CFT-XY系列平臺的在位穩定性小于3nm，最小步進量小于5nm，可用于測量檢測、表面粗糙度檢測、激光切割等需要納米級定位精度的工業和科研項目。

CFT-XY在位穩定和最小步進測試

5nm最小步進（ASH反饋選項，配置線性放大器）

<3nm在位穩定性（ASH反饋選項，配置線性放大器）

備注：

（1）經過定制2D校準后，正交性可達到 5 arc sec；

（2）空載，需配置相應功率的放大器；

（3）適配-ASH反饋，線性放大器；

（4）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（5）其他行程可定制。