日本MITUTOYO三次元測量機LEGEX匠模型

日本MITUTOYO三次元測量機LEGEX匠模型

技術革新：納米級精度的再突破

LEGEX匠系列在標準LEGEX平臺基礎上進行了多方位升級，其核心測量系統采用三豐最新研發的M-ULTRA Pro控制單元，搭配分辨率達1nm的超精細光柵尺。"雙閉環"溫控系統通過32個溫度傳感器實時監控設備狀態，配合主動補償算法，將溫度漂移影響控制在±0.1μm/℃以內。測量范圍覆蓋500×800×600mm的標準工作空間，在20±0.3℃恒溫環境下，空間測量精度可達(1.2+L/400)μm（L為測量長度，單位：mm），較普通工業機型提升近40%。

匠藝細節：手工調校的藝術

每臺LEGEX匠系列需經過三道核心手工工序：首先由20年資歷的匠人進行基礎框架的應力釋放調校，采用傳統"叩き調整"技法，通過專用銅錘的輕微敲擊消除內部應力；其次進行為期90天的自然時效處理，在特制恒溫室中完成材料穩定；最后實施光學平面鏡手工研磨，確保導軌平面度≤0.3μm/100mm。關鍵部位的56顆緊固螺釘均采用特制鈹銅合金，經手工扭矩校準至0.02N·m精度。設備底部的紫銅銘牌刻有匠人親筆簽名和調校日期，成為身份標識。

應用價值：精密制造的方案

在半導體晶圓檢測領域，某客戶使用LEGEX匠系列成功將300mm晶圓的平面度測量重復性提升至0.15μm，助力5nm制程工藝研發。光學元件制造商利用其亞微米級掃描功能，實現了自由曲面透鏡0.2μmPV值的高效檢測。手工紅寶石測頭系統，在測量高反光金屬表面時展現出的穩定性，某航天企業用其完成渦輪葉片榫槽0.5μm級輪廓檢測。隨設備附贈的匠藝傳承手冊，詳細記錄每道工序的技術要點，既是使用指南，更是精密制造的文化載體。