日本MITUTOYO高精度掃描探針 SP80

日本MITUTOYO高精度掃描探針 SP80

一、核心技術創新

SP80掃描探針代表了接觸式測量技術的最新突破。其核心創新在于采用了"雙模減振系統"：機械減振機構可消除85%的環境振動干擾，電子主動補償系統則進一步抑制殘余振動。探針測桿采用單晶藍寶石材料，配合直徑0.3mm的碳化鎢測球，在保持0.1μN級接觸力的同時，實現了業界的±0.008μm（8納米）重復測量精度。

二、精密溫度控制系統

針對超精密測量環境需求，SP80搭載了第三代智能溫補系統：

1. 內置5個高靈敏度溫度傳感器，實時監測探針各部位溫度變化

2. 采用AI預測算法，可提前30秒預判溫度漂移趨勢

3. "三軸獨立補償"技術，將熱變形影響控制在X/Y軸≤2nm/℃，Z軸≤1nm/℃ 這套系統使得SP80在恒溫實驗室（20±0.5℃）條件下，可實現連續8小時測量漂移不超過15nm的穩定表現。

三、工程設計與應用優勢

1. 人機工程改進：

• 磁性快換接口支持15秒內完成探針更換

• 360°全向指示燈實時顯示測量狀態

• 符合ISO 13485醫療設備標準的防污染設計

2. 工業適配性：

• 通過專用轉接器兼容三豐CV-3200、SV-C3200等主流輪廓儀

• 支持G代碼直接調用測量程序

• 標配防撞保護功能，可承受50次/秒的誤碰檢測

3. 典型應用場景：

• 航空航天：渦輪葉片冷卻孔形位公差檢測

• 半導體：晶圓切割道三維輪廓測量

• 醫療器械：人工關節表面粗糙度分析

• 光學制造：非球面透鏡面形誤差評估

四、測量性能驗證

經日本國家計量院（NMIJ）認證：

• 平面度測量不確定度：0.02μm/50mm

• 階梯高度測量重復性：0.005μm（1σ）

• 最大允許誤差（MPE）：±（0.1+L/200）μm（L為測量長度，單位mm） 在實際汽車噴油嘴測量案例中，SP80成功實現了直徑0.1mm微孔的輪廓全參數測量，數據重復性達98.7%。