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產品簡介
詳細介紹
產品簡介： EQ-TM106 膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理， 結合的頻率測量技術， 進行膜厚的在線 監測。主要應用于 MBE 、OLED 熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，用于對膜層厚度及鍍膜速率 進行實時監測。 EQ-TM106 膜厚監測儀根據制備薄膜的實時速率可以輸出 PWM （脈沖寬度調制） 模擬量， 作為膜厚傳感器使用， 與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制，從而檢測所制備薄膜的厚度。 EQ-TM106 膜厚監測儀體積小巧可節省實驗室空間， 原理簡單， 操作方便， 尤其適合于實驗室中薄膜制備 過程的使用。
產品名稱 | EQ-TM106 膜厚監測儀 |
產品型號 | EQ-TM106 |
主要特點 | 1 、本機可與計算機連接。 2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點，可直觀顯示所測的膜厚、速率、 頻率、 PWM 控制輸出的百分比等工作狀態。 3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數 等進行設置， 并可將所測相關數據寫入 Excel 文件。 4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。 |
技術參數 | EQ-TM106-1 監測組件 1、電源： DC 5V（±10%），電流 400mA 2、頻率分辨率： ±0.03Hz 3、膜厚分辨率： 0.0136? （鋁） |
4、膜厚準確度： ±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應力，溫度和密度 5、測量速度： 100ms-1s/次，可設置 6、測量范圍： 500000? （鋁） 7、標準傳感器晶體： 6MHz 8 、計算機接口： RS-232/485 串行接口（波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400 可 設置，數據位： 8，停止位： 1，校驗：無） 9、模擬輸出： 8 比特分辨率， PWM 脈寬調制輸出（集電極開路或內部 5V 輸出） 10、工作環境： 溫度 0-50℃， 濕度 5%-85%RH，不得有冷凝水珠 11、外形尺寸： 90mm×50mm×18mm | |
EQ-TM106-2 顯示儀 1、輸入電源： AC 220V±10% 2、輸出電源： DC 5V 3A | |
3、顯示器： 12×2 數碼管與 LED 4、通訊端口： RS-485（波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400 可設置，數據位： 8 位，停止位： 1 位，奇偶校驗：無） 5、外形尺寸： 182mm×65mm×160mm | |
EQ-TM106-3 探頭 1、適用晶片頻率： 6MHz | |
2、適用晶片尺寸： ?14mm 3、安裝法蘭： CF35 4、冷卻水管： ?3mm ，長度 300mm 、500mm 、1000mm 5、冷卻水壓： <0.3MPa 6、氣動擋板路管： ?3mm 7、壓縮空氣壓力： <0.8MPa ，>0.5MPa |
8、烘烤溫度：通水狀態<200℃，不通水狀態法蘭<100℃ 9、電氣接口： BCN 插座 | |||
標準配件 | 1 | EQ-TM106-1 監測組件 | 1 個 |
2 | EQ-TM106-2 顯示儀 | 1 臺 | |
3 | EQ-TM106-3 探頭 | 1 個 | |