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X射線熒光光譜儀簡稱XRF，是一種物理的元素分析方法。近年來XRF主要作為一種快速檢測手段在環保、材料成分、有色冶金、化工、醫藥等行業發揮了很大的作用。XRF具有快速、無損、多種元素同時分析、分析成本低等特殊技術優勢。

在環保領域和食品領域，XRF通過直接測試的方法，篩選出樣品中的有害重金屬是否達到危害。

RoHS是由歐盟立法制定的一項強制性標準，該標準的目的在于消除電氣電子產品中的鉛、、鎘、六價鉻、多溴聯苯和多溴二苯醚。作為快速檢測設備，XRF在此應用中發揮了廣泛的作用。

另外，XRF在現場分析和過程控制分析等方面的應用很廣，例如廢舊金屬回收，土壤現場檢測，在線物料檢測等。