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VS21-真空探針臺測試儀

2025-04-15

產      地:
廣東省深圳市
所在地區:
廣東深圳市
有效期還剩 258舉報該信息

特點:

測量溫度寬,控溫精度高

XYZ三軸方向移動,定位精度高

真空漏率優秀,真空度高        

精密小巧,易于搬運

用途

真空探針臺測試儀,用于芯片,氣敏元器件等在不同氣氛環境下電學性能,也可用于材料分析。廣泛應用于半導體電學性能測試、物理研究,氣敏分析、集成電路、LED、LCD、太陽能電池等行業的制造和研究領等系統中的重要部件。

真空探針臺測試儀產品規格參數

項目

訂貨代碼

VS21-4 VS21-6

主體

VS21-4
4探針)

腔體材質: AL6061(可定制SUS304腔體)
密封方式:氟膠圈    
抽氣口:KF16
電信采集接口:標配BNC接口
腔體進氣口:6mm(特殊可定制)
腔體外尺寸:6寸
樣品臺尺寸:2寸
樣品觀察窗:φ50mm

VS21-6
6探針)

探針組件    (單組價格)

Q2

氣密型同軸接口探針夾具(普通型)

Q3

氣密型三軸接口探針夾具(抗干擾性強,應用于半導體)

V2

真空型同軸接口探針夾具(普通型,需要抽真空時選擇)

V3

真空型三軸接口探針夾具(抗干擾性強,應用于半導體,需要抽真空時選擇)

探針規格

000T

鍍金,50μm(可選:1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例:010T代表10μm尺寸的探針。

信號線纜

R1

單頭甩空線

R2

雙頭線

位移座

ST

XYZ三軸位移尺寸(X±12.5mm、Y±12.5mm、Z±10mm)

高低溫控制系統

H

高溫控制器:常溫~450℃,控制精度±0.25℃,分辨率0.1℃(進口溫控)

L

低溫控制器:-194℃~0℃,控制精度±0.25℃

真空系統

MP

機械泵(飛躍):2.2L/S(真空度1*10-1Pa)(不包含真空計)

TP

分子泵組(Leybold:90L/S(真空度5*10-5Pa)

復合真空計(Leybold ):PTR90(大氣至5*10-7Pa)主體需要采用

不銹鋼材質,才能抽到高真空

顯微鏡

PM

體式顯微鏡:ZOOM645S(環形光源)

CM

CCD:200萬像素

DP

戴爾顯示器:21寸

SJ

視頻顯微鏡+10寸顯示屏100萬像素

附件

D20

液氮杜瓦罐:20L(溫度控制在-196℃-室溫可控







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