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特點(diǎn)：
★ 升溫速度可精確控制，精度達(dá)±0.25℃
★ 體積小巧，占地空間小
★ 無噪聲、無振動(dòng)、體積小、重量輕
★ 支持與各類顯微鏡、光譜儀等光學(xué)儀器設(shè)備
★ 模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)客戶要求定制
★ 無需液氮制冷耗材
用途：
半導(dǎo)體冷熱探針臺(tái)測(cè)試儀，用于芯片、氣敏元器件等在不同氣氛環(huán)境下電學(xué)性能，也可用變溫光學(xué)測(cè)試、變溫電學(xué)測(cè)試、材料表征等分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電學(xué)性能測(cè)試、物理研究、氣敏分析、鋰電池測(cè)試、LED、LCD、二維材料測(cè)試、電鏡掃描、太陽能電池等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)等系統(tǒng)中的重要部件。
半導(dǎo)體冷熱探針臺(tái)產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)：
項(xiàng)目 | 訂貨代碼 | HB24-4 | HB24-6 |
主體 | HB25-4 | 腔體材質(zhì)：AL6061(可定制SUS304腔體) 通光口：φ3mm | |
HB25-6 | |||
探針組件 （單組價(jià)格） | V2 | 真空型同軸接口探針夾具（普通型，需要抽真空時(shí)選擇） | |
V3 | 真空型三軸接口探針夾具（抗干擾性強(qiáng)，應(yīng)用于半導(dǎo)體，需要抽真空時(shí)選擇） | ||
探針規(guī)格 | 000T | 鍍金，50μm(可選：1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例：010T代表10μm尺寸的探針。 | |
信號(hào)線纜 | R1 | 單頭甩空線 | |
R2 | 雙頭線 | ||
水冷機(jī) | W | 溫度高于200℃范圍需要配置水冷機(jī) | |
溫控系統(tǒng) | CL | 高溫控制器CL200:-35℃～120℃，控制精度±0.25℃，分辨率0.1℃ | |
真空系統(tǒng) | MP | 機(jī)械泵（飛躍）:2.2L/S(真空度1*10-1Pa)（不包含真空計(jì)） | |
TP | 分子泵組（Leybold）:90L/S(真空度5*10-5Pa) 復(fù)合真空計(jì)（Leybold ):PTR90(大氣至5*10-7Pa)主體需要采用 不銹鋼材質(zhì)，才能抽到高真空 | ||
顯微鏡 | PM | 體式顯微鏡:ZOOM645S（環(huán)形光源） | |
CM | CCD：200萬像素 | ||
DP | 戴爾顯示器：21寸 | ||
SJ | 視頻顯微鏡+10寸顯示屏（100萬像素） | ||
深圳市江麥智能科技有限公司
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