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腦機接口微針

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更新時間:2025-06-19 09:22:09瀏覽次數:115評價

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公司為海內外多家單位,在微針、AR斜齒/閃耀光柵、超構透鏡(單晶硅、非晶硅、氮化硅)、硅光機構、深硅/體硅結構等等器件與機構方面,提供過代工代研服務。

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工藝能力:電子束曝光,納米壓印,激光直寫(無掩膜光刻),真空鍍膜,濺射鍍膜,PECVD,LPCVD,ICP-RIE,深硅刻蝕,金屬刻蝕,介質刻蝕,離子束刻蝕,反應離子束刻蝕,晶圓鍵合,劃片,等等。


常做器件/結構:微針,AR斜齒閃耀光柵,超構透鏡(單晶硅,非晶硅,氮化硅),硅光結構,深硅/體硅結構,等等。


Process capabilities: electron beam exposure, nanoimprinting, laser direct writing (maskless lithography), vacuum coating, sputtering Coating, PECVD, LPCVD, ICP-RIE, deep silicon etching, metal etching, dielectric etching, ion beam etching,Reactive ion beam etching, wafer bonding, scribing, and more.

Commonly used devices/structures: microneedles, AR oblique tooth blazed gratings, superlenses (monocrystalline silicon, amorphous silicon, silicon nitride),Silicon optical structure, deep silicon/bulk silicon structure, etc.

 


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