UCS100SD系列是高精密定位平臺(tái)，采用交流無(wú)刷伺服電機(jī)加滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，側(cè)向高度低，結(jié)構(gòu)緊湊。UCS100SD系列平臺(tái)不僅有接近直驅(qū)電機(jī)一樣的精度性能，還能更加靈活的使用，它既可以作水平直線軸使用，也可以選配抱閘，作為Z軸立起來(lái)與其它水平安裝的直線平臺(tái)配合使用，水平最大負(fù)載25Kg，側(cè)向安裝或者垂直安裝最大負(fù)載10kg。UCS100SD系列有旋轉(zhuǎn)編碼器反饋配置，選配旋轉(zhuǎn)編碼器分辨率小于0.1μm。

UCS100SD系列平臺(tái)是高精密絲杠傳動(dòng)平臺(tái)，其主要特點(diǎn)是側(cè)向高度低，結(jié)構(gòu)緊湊，而且堅(jiān)固耐用，平臺(tái)帶載里程超過(guò)2500km。UCS100SD提供高分辨率和重復(fù)定位精度，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)試和制造、自動(dòng)顯微鏡觀測(cè)系統(tǒng)和高精度微機(jī)等應(yīng)用。

備注：

（1）有效載荷指標(biāo)適用于單軸系統(tǒng)，并受限于2500公里行程的絲杠和滾珠壽命。

（2）適配RTTL5000反饋選項(xiàng)；

（3）使用占空比過(guò)高可能會(huì)影響精度；

（4）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（5）多軸配置或定制應(yīng)用指標(biāo)咨詢廠商。