MicroL-Z系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是亞微米級(jí)定位精度的XYZ一體式精密定位平臺(tái)，采用三軸一體式結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)客戶要求分離成大中空的XY軸和單獨(dú)的Z軸。MicroL-Z利用直線電機(jī)直驅(qū)控制，XY軸采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，無絲杠傳動(dòng)環(huán)節(jié)，因此有較好的動(dòng)態(tài)性能，可以完成快速掃描和整定。Z軸具有良好的動(dòng)態(tài)聚焦能力，可以在150ms內(nèi)完成1μm步進(jìn)，整定到±150nm。

MicroL-Z系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)三軸平臺(tái)采用大中空設(shè)計(jì)，中空尺寸達(dá)到150mm*100mm，適用于生物組織結(jié)構(gòu)觀測(cè)和膜厚測(cè)量等應(yīng)用，XY軸完成“弓"字型折返掃描的同時(shí)，Z軸還可以根據(jù)應(yīng)用需求完成調(diào)焦運(yùn)動(dòng)，保證精準(zhǔn)的捕捉掃描圖像。在某些相機(jī)景深較短的應(yīng)用中，都能快速協(xié)同步進(jìn)穩(wěn)定和快速聚焦，可以大大提高效率和成像質(zhì)量。

備注：

（1）空載測(cè)試；

（2）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（3）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（4）其他行程可定制。