日本MITUTOYO 白光干涉儀QUICK WLI Pro系列

日本MITUTOYO 白光干涉儀QUICK WLI Pro系列

白光干涉測量技術的革新突破

QUICK VISION WLI Pro系列采用第三代相干掃描干涉技術（CSI 3.0），通過寬光譜LED光源（波長范圍450-700nm）與高NA物鏡組合，實現0.08nm的垂直分辨率極限值——該數據經日本計量院（NMIJ）2025年度認證，較上一代提升40%。其環境補償系統包含三級減震模塊（氣浮隔振+主動電磁阻尼+實時振動算法補償），確保在15-300Hz車間振動環境下仍保持亞納米級穩定性。

模塊化硬件架構

• 雙模式探測系統：集成12MP彩色CMOS傳感器（2D測量）與高速光譜儀（3D干涉），支持0.5秒內模式切換

• 智能Z軸平臺：采用壓電陶瓷驅動，行程50mm（可選100mm），閉環控制精度達±1nm

• 多光譜適配系統：提供紫外（365nm）/近紅外（850nm）可選模塊，滿足透明薄膜與深孔結構測量

AI賦能的軟件生態

搭載Mitutoyo MeasureX 2025軟件，具備三大核心功能：

1. 實時形貌重建引擎：基于深度學習算法，將干涉條紋分析速度提升至150幀/秒

2. 智能缺陷分類系統：預訓練30+工業缺陷模型（劃痕、顆粒、凹陷等），識別準確率＞99.2%

3. 數字孿生比對模塊：支持CAD模型與實測數據的自動三維偏差著色分析

行業解決方案

在半導體領域，可完成3D IC硅通孔（TSV）的深寬比測量（ aspect ratio 10:1）；在光學鍍膜行業，實現多層膜厚（1-50μm）的納米級在線檢測；于醫療植入物制造中，精確評估人工關節表面粗糙度（Sa 0.01-1μm）。2025年新增新能源電池極片涂布厚度監測方案，測量速度達20mm/s。

認證體系：通過ISO 9001:2025、SEMI S2/S8-2024及FDA 21 CFR Part 11電子記錄規范認證，滿足GxP合規性要求。