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行業(yè)產(chǎn)品
當前位置:> 供求商機> CRX-6.5K-無液氦低溫探針臺/4寸
CRX-6.5K兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品的可靠性,為用戶提供了一種低成本、通用的解決方案。它使用獨立的閉循環(huán)制冷機,開機后可在無人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。它的多功能性和經(jīng)濟性使CRX-6.5K成為世界各地許多研究人員的首丶選工具。
I-V、C-V和微波測量在CRX-6.5K上是標準的。雙級閉循環(huán)制冷機允許樣品在冷卻過程中保持在較高溫度,降低了樣品冷凝的可能性,這是測量有機材料的關(guān)鍵要求。
CRX-6.5K可在8 K至350 K的溫度范圍內(nèi)工作,并可選擇擴展20 K至675 K的高溫范圍。該系統(tǒng)可容納直徑高達51 mm(2 in)的完整晶圓片和部分晶圓片。探針、測試電纜、樣品座和選件的廣泛選擇使其能夠滿足多種特定的測量應用。
設備參數(shù):
溫度范圍 | |
安裝2個探針臂 | 基礎溫度8 K,控制范圍8.5 K ~ 350 K |
安裝4個探針臂 | 基礎溫度9 K,控制范圍9.5 K ~ 350 K |
安裝6個探針臂 | 基礎溫度10 K,控制范圍10.5 K ~ 350 K |
安裝PS-HTSTAGE選件(與樣品背面偏壓不兼容) | 基礎溫度20 K,控制范圍20 K ~ 675 K |
溫度穩(wěn)定性 | |
基礎溫度 (無加熱控制) | 未說明 |
<10 K | ±25 mK |
11 K ~ 350 K | ±10 mK |
351 K ~ 675 K | ±50 mK |
真空 | |
室溫 | <5×10-4 Torr |
基礎溫度 | <1×10-5 Torr |
最高溫度 | <5×10-5 Torr |
循環(huán)時間 | |
總循環(huán) | 6.25 h |
抽真空 | 0.5 h |
探針臺冷卻 | 3.5 h |
探針臺升溫 | 2.25 h |
樣品 | |
最大尺寸 | 51 mm(2英寸) |
樣品背光接口 | 不可選 |
樣品旋轉(zhuǎn) | 不可選 |
樣品振動 | <2 μm |
探針配置 | |
最大探針數(shù) | 6 |
探針臂溫度計 | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 |
冷卻探針支架 | <20 K(樣品在基礎溫度下) |
探針支架 | 連接樣品臺熱沉 |
探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 |
DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量 |
微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz |
光纖探針 | 可用于電光測量 |
落針范圍 | 所有探針均可在直徑為25.4 毫米(1 英寸)的圓內(nèi)落針 |
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