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產(chǎn)地：法國AnnealSys；

型號：AS-One100/AS-One150

AS-ONE立式快速退火爐為法國AS公司生產(chǎn)，分為AS-ONE 100, 150, 200三個型號，分別對應(yīng)4英寸、6英寸、8英寸的真空快速退火爐產(chǎn)品。

應(yīng)用：

- 快速熱退火  RTA；

- 快速熱氧化 RTO；

- 擴散，接觸退火；

- 化合物半導(dǎo)體退火；

- 氮化，硅化；

- 硒化，硫化；

- 石墨烯沉積，碳納米管生長；

- 晶體化，致密化；

技術(shù)規(guī)格：

規(guī)格

AS-ONE 100

AS-ONE 150

最大樣品基底直徑

100mm (4英寸)

150mm (6英寸)

腔體尺寸

130mm直徑 x 25mm

200mm直徑 x 25mm

紅外燈數(shù)量/最大功率

12支 / 30KW

18支 / 34KW

紅外燈冷卻方式

風(fēng)扇

風(fēng)扇

標準溫度范圍

室溫 ~ 1250°C

室溫 ~ 1200°C

選配高溫版本范圍

室溫 ~ 1500°C

室溫 ~ 1300°C

升溫速度

0.1°C ~ 200°C/s

0.1°C ~ 150°C/s

溫度控制

快速數(shù)字PID控制器

快速數(shù)字PID控制器

熱電偶

K型

K型

高溫計

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

氣體注入

石英視窗以下

石英視窗以下

清洗氣路

標準配置

標準配置

工藝氣路方式/數(shù)量

MFC / 5路

MFC / 5路

真空獲得系統(tǒng)

干泵(10-2Torr)

分子泵(10-6Torr)

干泵(10-2Torr)

分子泵(10-6Torr)

尺寸/重量

510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg

510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg

參考客戶：

清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、華南理工大學(xué)、天津中電十八所、南京中電五十五所、GE上海研發(fā)中心、南方科大、深圳大學(xué)等。

大尺寸樣品快速退火爐

快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。

儀器特點：

-  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA；

-  可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；

-  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片，300mm X 300mm電池片等；