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Lake Shore的CRX-VF是一款無(wú)液氦閉循環(huán)制冷的探針臺(tái)，它增加了±2.5T的超導(dǎo)磁體，可以進(jìn)行C-V、I-V、微波和電光探測(cè)，以及平面外垂直場(chǎng)超導(dǎo)磁測(cè)量。研究人員可以使用CRX-VF進(jìn)行霍爾效應(yīng)測(cè)量和測(cè)試磁輸運(yùn)參數(shù)。CRX-VF可在直徑達(dá)51毫米（2英寸）的晶圓上實(shí)現(xiàn)真正的90°晶圓探測(cè)。樣品可在冷卻過(guò)程中保持較高溫度，降低了樣品冷凝的可能性，這是測(cè)量有機(jī)材料的關(guān)鍵要求。

CRX-VF可在10 K至500 K的溫度范圍內(nèi)工作，它使用獨(dú)立的閉循環(huán)制冷機(jī)，開(kāi)機(jī)后可在無(wú)人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。該系統(tǒng)為尋求兼顧無(wú)液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品可靠的測(cè)量性能的用戶提供了完整的解決方案。

主要特征：

√ 溫度范圍10 K~500 K

√ 垂直磁場(chǎng)±2.5 T，可定制3T以上磁場(chǎng)

√ 最大2英寸（51 mm）樣品

√ 90°探針樣品測(cè)量

√ 霍爾效應(yīng)測(cè)試選件

√ 超高真空選件

√ 可定制真空腔聯(lián)用轉(zhuǎn)移樣品，避免樣品暴露在大氣環(huán)境

設(shè)備參數(shù)：

磁場(chǎng)
磁體類型	超導(dǎo)螺線管
磁場(chǎng)方向	垂直方向（垂直于樣品面）
磁場(chǎng)控制	電流控制
磁場(chǎng)大小	最大±25 KOe(±2.5 T)
磁場(chǎng)均勻性	0.5% 10 mm直徑；1% 25 mm直徑
探針針尖移動(dòng)	<5 μm 整個(gè)磁場(chǎng)范圍內(nèi)
溫度范圍
±2.5 T	溫度10 K
±2 T	溫度范圍11 K ~ 400 K
±1 T	溫度范圍401 K ~ 500 K
以上溫度范圍在最大安裝6個(gè)探針臂情況下有效
溫度穩(wěn)定性
基礎(chǔ)溫度 (無(wú)加熱控制)	未說(shuō)明
<10 K	±50 mK
10 K ~ 500 K	±10 mK
真空	以TPS-FRG分子泵為標(biāo)準(zhǔn)	PS-HV-CPX高真空選件
抽真空時(shí)間	90 min (<1 × 10-3 Torr)	30 min (<1 × 10-3 Torr)
室溫下	<5 × 10-4 Torr	<5 × 10-6 Torr
基礎(chǔ)溫度下	<1 × 10-5 Torr	<5 × 10-7 Torr
最高溫度下	<5 × 10-5 Torr	<5 × 10-7 Torr
循環(huán)時(shí)間
總循環(huán)	8.5 h
抽真空	1.5 h
探針臺(tái)冷卻	5 h
探針臺(tái)升溫	2 h
樣品
最大尺寸	51 mm(2英寸)
樣品背光接口	不可選
樣品旋轉(zhuǎn)	不可選
樣品振動(dòng)	＜1 μm
探針配置
最大探針數(shù)	6
探針臂溫度計(jì)	用于監(jiān)視探針臂的溫度
冷卻探針支架	＜50 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)
探針支架	連接防輻射屏熱沉
探針臂支架	連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針	電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量
微波探針	頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針	可用于電光測(cè)量
落針?lè)秶?/span>	所有探針均可在直徑為 25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針