主要特征：

√  溫度范圍4.3 K~475 K

√  可選低溫1.9 K/1.6 K

√  標準2英寸（51 mm）樣品，4英寸（102 mm）可定制

√  樣品可面內±5°旋轉

√  樣品振動＜30 nm可選

√  超高真空選件

√  可定制真空腔聯用轉移樣品，避免樣品暴露在大氣環境

√  環形磁體選件最大0.19T

設備參數：

溫度范圍

最多安裝6個探針臂基礎溫度4.3 K，控制范圍4.4 K ~ 475 K

安裝PS-LT低溫選件基礎溫度1.9 K，控制范圍2 K ~ 475 K

安裝PS-VLT-CPX極低溫選件基礎溫度1.6 K，控制范圍1.65 K ~ 400 K

安裝PS-LL-CPX選件（Load Lock）基礎溫度10 K，控制范圍10 K ~ 400 K

溫度穩定性液氦液氮

基礎溫度 (無加熱控制)±15 mK±20 mK

<10 K±50 mK—

10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK

101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK

251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK

351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK

真空以TPS-FRG分子泵組為標準PS-HV-CPX高真空選件

抽真空時間30 min (<1 × 10-3 Torr)10 min (<1 × 10-3 Torr)

室溫<5 × 10-4 Torr<5 × 10-6 Torr

基礎溫度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr

最高溫度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr

循環時間

總循環3 h

抽真空0.5 h

探針臺冷卻1.25 h

探針臺升溫2 h

Load Lock樣品更換時間1小時（配有PS-LL-CPX選件）

樣品

最大尺寸51 mm（2英寸）標準

25.4 mm（1英寸）安裝PS-VLT-CPX高真空選件

25.4 mm（1英寸）安裝PS-LL-CPX  Load Lock選件

樣品背光接口不可選

樣品旋轉±5°面內旋轉

樣品振動＜300 nm標準，＜30 nm配有PS-PVIS減震選件

探針配置

最大探針數6

探針臂溫度計用于監視探針臂的溫度

冷卻探針支架＜20 K(樣品在基礎溫度下)

探針支架連接樣品臺或4K防輻射屏熱沉

探針臂支架連接防輻射屏熱沉

DC/RF探針電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量

微波探針頻率范圍從DC到67GHz

光纖探針可用于電光測量

落針范圍所有探針均可在直徑為 25.4 毫米（1 英寸）的圓內落針