ULVAC 愛發科 渦輪分子泵 日本供應 現貨
ULVAC 愛發科 渦輪分子泵 日本供應 現貨
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
規格
型號 PST-030CU PST-030AU PST-050CU PST-050AU PST-100CX PST-100AX 主要對象氣體 活性氣體 希有氣體 活性氣體 希有氣體 活性氣體 希有氣體 排氣速度*
(再生排氣速度)0.03m3/s
(N2 測定時)0.013m3/s
(Ar 測定時)0.045m3/s
(N2 測定時)0.016m3/s
(Ar 測定時)0.10m3/s
(N2 測定時)0.05m3/s
(Ar 測定時)到達壓力 10-9Pa 動作壓力 推薦值 <8.0×10-3Pa <5.0 x 10-3Pa 內容積 0.67 X 10-3m3 1.3x10-3m3 3.3x10-3m3 泵元件數量 CU型單元×1 式 AU sell×1式 CU sell×1 AU sell×1 CX sell×1 AX sell×1 連接法蘭規格 UFC070 UFC114 UFC152 施加電壓 DC+7.5kV 加熱器 無設定 AC200V, 300W AC200V, 320W 烘烤溫度 250℃ 質量 9.5 kg 12kg 37kg 外形尺寸 W x H x D 103×183×187 mm 153×204×241mm 155×336×340mm 使用環境 溫度范圍 5~40℃
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