ULVAC 愛發(fā)科 濺射離子泵 日本供應
ULVAC 愛發(fā)科 濺射離子泵 日本供應
特點
應用于極?超真空，已通過ISO標準，極限壓力10-9 Pa測試 。
稀有氣體排氣增強型（AU型）的排氣性能是氬氣的兩倍。（與本公司相比）
在超高真空范圍內(nèi)實現(xiàn)高抽速。
在短時間內(nèi)可以達到超高真空。
在超高真空范圍內(nèi)具有出色的啟動特性。（超高真空范圍內(nèi)持續(xù)放電）
用途
加速器
電子顯微鏡
電子束曝光裝置
討厭振動的分析裝置
極?超高真空環(huán)境下的使用等
規(guī)格
型號 PST-030CU PST-030AU PST-050CU PST-050AU PST-100CX PST-100AX 主要對象氣體 活性氣體 希有氣體 活性氣體 希有氣體 活性氣體 希有氣體 排氣速度*
(再生排氣速度)0.03m3/s
(N2 測定時)0.013m3/s
(Ar 測定時)0.045m3/s
(N2 測定時)0.016m3/s
(Ar 測定時)0.10m3/s
(N2 測定時)0.05m3/s
(Ar 測定時)到達壓力 10-9Pa 動作壓力 推薦值 <8.0×10-3Pa <5.0 x 10-3Pa 內(nèi)容積 0.67 X 10-3m3 1.3x10-3m3 3.3x10-3m3 泵元件數(shù)量 CU型單元×1 式 AU sell×1式 CU sell×1 AU sell×1 CX sell×1 AX sell×1 連接法蘭規(guī)格 UFC070 UFC114 UFC152 施加電壓 DC+7.5kV 加熱器 無設定 AC200V, 300W AC200V, 320W 烘烤溫度 250℃ 質(zhì)量 9.5 kg 12kg 37kg 外形尺寸 W x H x D 103×183×187 mm 153×204×241mm 155×336×340mm 使用環(huán)境 溫度范圍 5~40℃
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