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| 供貨周期 | 現貨 | 規格 | WGMXMSRR2 |
|---|---|---|---|
| 貨號 | WGMXMSRR2 | 主要用途 | WGMXMSRR2 |
產品簡介
詳細介紹
美國Entegris氣體過濾器WGMXMSRR2
美國Entegris氣體過濾器WGMXMSRR2
一般特征
•寬的FS流量測量和控制范圍
從< 3ccm到2500 lpm (N2
當量)
•精度高達1200 lpm:±1.0%的速率(20%-100%
±0.2% FS(低于20% FS)
1200-2500 lpm:±1% FS包括線性。
(校準條件)。
•傳感器穩定性行業。長期漂移
每年績效< 0.2%。增加系統
通過減少維護和消除吞吐量
定期調整配方。
•存儲多達10個可選校準曲線。
通過限制庫存來減少備件庫存
單個MFC/M的數量需要降低
庫存持有成本。
•彈性體下端口工藝連接選項
符合ANSI/ISA SP-76標準
簡化了安裝和維護的效率
足跡。
控制反應:
•沉淀時間小于1秒。
(在請求)。
•軟啟動可用于定制MFC性能
過程的要求。
•專有的自適應閥門控制算法是
這保證了意外的變化
工藝壓力不會導致流量偏離
定位點。
模擬I / O選項:
•15針D-Connector
•0(1)-5伏或0(4)-20毫安設定值和流量信號
•單面24伏直流電源
(13.5-27伏直流范圍)。
•獨立的閥門覆蓋信號
•精密5伏參考輸出信號
•與布魯克斯0150系列型號兼容
二次電子
•TTL(開路采集器)告警輸出信號
數字通信選項:
•DeviceNetTM, ODVATM認證
•FOUNDATIONTM現場總線，H1認證
•基于HART®RS-485多點傳輸
描述
Brooks instruments的SLA5800系列是一種彈性體
密封數字熱質量流量測量和
控制儀器，提供了的靈活性
和性能。SLA5800系列MFC是
設計用于*氣體處理系統。
結果是最準確的，可重復的，和
今天市場上的響應式MFC !
寬的流量范圍
SLA5800系列涵蓋了非常廣泛的范圍
的流量。SLA5850型可以有全比例的流量
低至3厘米。在50:1的高壓下比下，
準確的氣體流量可以測量或控制下來
ccm 0.06 !SLA5853型可以測量或控制氣體
流量高達2500公升/分鐘。
快速響應性能
全數字電子和*的機械
SLA5800系列中的配置提供了超
快速響應特性。沉降時間
少于一秒，但布魯克斯的
自適應閥控可以實現響應時間的
0.2秒。
廣泛的通信選項
Brooks®提供傳統的0-5伏和4-20mA模擬
選項，以及RS-485數字通信(“Sprotocol"，
基于HART)。布魯克斯還提供了控制
接口通過數字網絡協議，如DeviceNet，一個
高速(高達500k波特)數字通信
網絡或FOUNDATION®現場總線。布魯克斯
通信能力和設備配置文件
通過ODVA(開放DeviceNet供應商的)認證
和ITK互操作性測試套件。其他
網絡協議正在開發中。跟你的
布魯克斯代表向您詳細介紹您的具體需求。