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| 供貨周期 | 一個月以上 | 貨號 | SS-A200-4VM |
|---|---|---|---|
| 主要用途 | 過濾 |
TK-FUJIKIN 可以提供不同的元件類型，例如不銹鋼和哈氏合金。
金屬元件由SUS316L和哈氏合金經金屬粉末特殊處理后
燒結而成，通過精細加工的孔徑實現了與傳統粉末燒結元件相比的高去除率、低壓降。
采用哈氏合金、SUS 燒結的元件
在高壓范圍內仍具有穩定的過濾能力、出色的抗腐蝕和耐熱性。
超高純度在線氣體過濾器
■ 全316L
產品簡介
詳細介紹
TKF韓國TK-FUJIKIN過濾器 SS-A200-4VM優勢
TKF韓國TK-FUJIKIN過濾器 SS-A200-4VM優勢
TK-FUJIKIN 可以提供不同的元件類型，例如不銹鋼和哈氏合金。
金屬元件由SUS316L和哈氏合金經金屬粉末特殊處理后
燒結而成，通過精細加工的孔徑實現了與傳統粉末燒結元件相比的高去除率、低壓降。
采用哈氏合金、SUS 燒結的元件
在高壓范圍內仍具有穩定的過濾能力、出色的抗腐蝕和耐熱性。
超高純度在線氣體過濾器
■ 全316L 不銹鋼結構
■ 高溫和動態壓力應用
■ 緊湊的尺寸和可變端接
特征■ 15 至 300SLPM 的寬范圍流量■ 與大多數高純度半導體工藝氣體具有出色的兼容性。■ 3 納米顆粒過濾能力以最小的壓降保持高流動效率。■ 5Ra 電拋光表面可防止內部污染。■ 去離子水清洗后用熱氮氣烘烤，符合半導體工藝標準。■ Class 100 制造、清潔和包裝環境。■ 100% 氦泄漏測試。訂購信息
| 尺寸 | 聯系 | ||
|---|---|---|---|
| 4 | 1/4" | 虛擬機 | MFS公型 |
| 6 | 3/8" | 西南 | 樂型 |
| 8 | 1/2" | ||
規格
| 移除評級 | ≥ 0.0025 ? | |
|---|---|---|
| 保留 | 大于 99.9999999999% 去除所有小至 0.0025 um 的顆粒 | |
| 額定流量@10^9 | 15 SLPM | |
| 60 升/分鐘 | ||
| 120 英寸/分鐘 | ||
| 200 升/分鐘 | ||
| 300 英尺/分鐘 | ||
| 材料 | 濾芯 | 316L不銹鋼 |
| 電拋光外殼 | SM/DM 316L 不銹鋼 | |
| 操作條件 | 最大入口壓力 | 21 MPa (210kgf/cm2) 在 20 °C |
| 最大壓差 | 15 MPa (153kgf/cm2) 在 20 °C | |
| 最高工作溫度 | 460 °C（惰性氣體） | |
| 氦泄漏等級 | 1 x 10^-9 atm · cc / sec | |
| 表面處理內部 | ≤ Ra 5μin | |
方面
| 零件編號 | 一個/毫米 | 寬/毫米 | 厘米/毫米 | 深/毫米 | E/毫米 | F/毫米 | 唔 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SS-A15-4VM | 15.5 | 53 | 15.5 | 27 | 30 | 27 | 84 |
| SS-A15-4SW | 10 | 53 | 10 | 27 | 30 | 27 | 73 |
| SS-A60-4VM | 15.5 | 53 | 15.5 | 27 | 30 | 27 | 84 |
| SS-A60-4SW | 10 | 53 | 10 | 27 | 30 | 27 | 73 |
| SS-A60-6(8)VM | 19 | 53 | 19 | 27 | 30 | 27 | 91 |
| SS-A120-4VM | 15.5 | 96 | 15.5 | 29 | 33 | 30 | 127 |
| SS-A120-4SW | 10 | 96 | 10 | 29 | 33 | 30 | 116 |
| SS-A120-6(8)VM | 19 | 96 | 19 | 29 | 33 | 30 | 134 |
| SS-A120-6(8)SW | 12 | 96 | 12 | 29 | 33 | 30 | 120 |
| SS-A200-4VM | 15.5 | 98 | 15.5 | 35 | 39 | 35 | 129 |
| SS-A200-4SW | 10 | 98 | 10 | 35 | 39 | 35 | 118 |
| SS-A200-6(8)VM | 19 | 98 | 19 | 35 | 39 | 35 | 136 |
| SS-A200-6(8)SW | 12 | 98 | 12 | 35 | 39 | 35 | 122 |
| SS-A300-4VM | 15.5 | 98 | 15.5 | 35 | 39 | 35 | 129 |
| SS-A300-4SW | 10 | 98 | 10 | 35 | 39 | 35 | 118 |
| SS-A300-6(8)VM | 19 | 98 | 19 | 35 | 39 | 35 | 136 |
| SS-A300-6(8)SW | 12 | 98 | 12 | 35 | 39 | 35 | 122 |