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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣 |
快速退火爐（RTP/RTA）是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。VPO-300是一款很有特點的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。
產品簡介
詳細介紹
VPO-300快速退火爐
快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。VPO-300是一款很有特點的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。
儀器特點：
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空環境使用；
- 加熱區域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm x 156mm電池片，300mm x 300mm電池片等；
儀器特點：
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空環境使用；
- 加熱區域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm x 156mm電池片，300mm x 300mm電池片等；
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