目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統>> CY-CVD1200-60-220×440×220-3TH-Q1200℃三溫區三通道混氣CVD系統
1200℃三溫區三通道混氣CVD系統采用全彩高清觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。系統所配有的三路浮子流量計，可以較為準確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監測氣體壓力及混合槽壓力。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
1200℃三溫區三通道混氣CVD系統技術參數：
項目 明細 供電電壓 AC220V，50Hz MAX功率 5KW 加熱溫區 220mm+440mm+220mm 工作溫度 1100℃ （1200℃＜1h） 控溫精度 ±1℃ 升溫速率 建議≤10℃/min 控溫方式 AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 三溫區獨立控制，帶有過熱和斷偶保護 爐管材質 高純石英 爐管尺寸 φ60mm O.D×1300mm L 氣體通道 三通道質量流量計 氣體量程 A：100sccm B：300sccm C：500sccm 系統真空 5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵）
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