目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統>> CY-CVD1200-60-220×440×220-3TH-Q1200℃三通道CVD系統
一體式CVD系統設計緊湊，使用方便。特別是豐富的圖文界面，即使您是**操作，該系統也能順利引導您很快掌握該CVD系統的使用和操作，您根本無需專業學習，為您節省大量的科研時間，真正做到事倍功半！
產品特點：
1、豐富的圖文信息：全尺寸液晶圖文界面
2、系統高度集成：各個部分均由軟件協同進行數據采集、交換、處理、輸出
3、可使實驗步驟程序化、自動化
技術參數： 項目 明細 供電電壓 AC220V，50Hz MAX功率 5KW 加熱溫區 220mm+440mm+220mm 工作溫度 1100℃ （1200℃＜1h） 控溫精度 ±1℃ 升溫速率 建議≤10℃/min 控溫方式 AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 三溫區獨立控制，帶有過熱和斷偶保護 爐管材質 高純石英 爐管尺寸 φ60mm O.D×1300mm L 氣體通道 三通道質量流量計 氣體量程 A：100sccm B：300sccm C：500sccm 系統真空 5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵）
1
化工儀器網