目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統>> CY-CVD1200-50-400-3TH-Q1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統
1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統系統所配有的三路浮子流量計，可以混合1~3路氣體，較為準確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監測氣體壓力及混合槽壓力。
本系統還配有精密分子泵組，可以達到1.0E-3pa級別的真空度，較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
技術參數：
1200單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統 真 空 管 式 爐 產品型號 CY-O1200-50IT 爐管材質 高純石英 爐管直徑 50mm（可選配60mm、80mm、100mm） 爐管長度 800mm 爐膛長度 440mm 加熱區長 400mm 恒溫區長 200mm 工作溫度 0～1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統 產品型號 CY-3F 氣體通道 3通道 測量部件 氣體浮子流量計 測量量程 A通道：0～100ml/min H2氣 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 B通道：16～160ml/min N2氣 C通道：25～250ml/min Ar氣 測量精度 ±2.0% 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50～300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規格 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 排 氣 系 統 產品型號 CY-GZK103-A 分子泵 CY-600 前極泵 旋片泵 抽氣速率 分子泵：600L/S 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa 旋片泵：1.1L/S 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 真空測量 復合真空計：電阻規+電離規 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz
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