目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統>> CY-CVD1200-50-400-3TH-Q1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD系統
產品介紹：
1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD系統由單溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵租組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫，可編輯30段升降溫程序，同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表，可以用來控制路管內的氣氛環境。同時1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。
系統所配有的三路質量流量計，精度高可靠性強，可以混合1-3路氣體，操作面板采用數字顯示，直觀高效，若客戶有特殊需要也可以聯系技術人員定制任意數量的氣路。
適用范圍：
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
技術參數：
真 空 管 式 爐 產品型號 CY-O1200-50IT 爐管材質 高純石英 爐管直徑 50mm（可選配60mm、80mm、100mm） 爐管長度 800mm 爐膛長度 440mm 加熱區長 400mm 恒溫區長 200mm 工作溫度 0～1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統 產品型號 CY-3Z 氣體通道 3通道 測量部件 氣體質量流量計 測量量程 A通道：0～100SCCM H2氣 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 B通道：0～300SCCM N2氣 C通道：0～500SCCM Ar氣 測量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50～300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規格 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統 產品型號 CY-GZK103-A 分子泵 CY-600 前極泵 旋片泵 抽氣速率 分子泵：600L/S 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa 旋片泵：1.1L/S 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 真空測量 復合真空計：電阻規+電離規 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz
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