目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>PECVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-OTF-1200X-II-PEC3-Q卷對卷式PECVD
卷對卷式PECVD技術(shù)參數(shù)：
| 1200℃雙溫區(qū)管式爐 | 供電電壓 | AC220V，50Hz |
| *大功率 | 3KW | |
| 加熱溫區(qū) | 雙溫區(qū) 200mm+200mm | |
| 工作溫度 | ≤1200℃ | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 控溫方式 | AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 | |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 | |
| 爐管尺寸 | φ80mm I.D x 1400mm L | |
| 密封方式 | 不銹鋼真空法蘭 | |
| 真空測量 | 電阻規(guī) | |
| 工作氣體 | 氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體 | |
| 真空泵 | 雙極旋片式真空泵 | |
| 極限真空度 | 10^-1Pa | |
| 三路質(zhì)量流量計 | 閥門類型 | 不銹鋼針閥 |
| 氣路數(shù)量 | 三路 | |
| 承壓范圍 | 0.05~0.3MPa | |
| 量程 | 1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4) | |
| 流量控制范圍 | ±1.5% | |
| 混氣罐容積 | 750mL | |
| 氣路材料 | 304不銹鋼 | |
| 管道接口 | 6.35mm卡套接頭 | |
| 供電電源 | AC220V 50Hz | |
| S射頻電源 | 輸出功率 | 500W |
| 輸出精度 | ±1% | |
| 射頻頻率 | 13.56MHz | |
| 射頻穩(wěn)定度 | ±0.005% | |
| 冷卻方式 | 風冷 |
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