微波源

10 kW SAIREM微波發(fā)生器

2.45GHz磁控管微波頻率

循環(huán)器和隔離器

自動操作的EH-tuning元件

等離子源

◆6"等離子源，激發(fā)頻率2.45GHz
◆能夠在低到高功率密度等離子體中工作
◆的高功率密度溫度控制能力
◆氣體從下側(cè)進入腔室
◆偏置電極

基板支架

◆可更換基板支架：
◆冷卻元件（約D75mm）
◆可更換支架板，便于清潔和維護
◆鉬等離子接觸件
◆生長過程中自動調(diào)整高度

小木屋

◆蛤殼式蓋子，便于基板放置和清潔
◆水冷鋁合金結(jié)構(gòu)
氣體管理系統(tǒng)
◆5條氣體管線，包括5個質(zhì)量流量控制器（根據(jù)要求添加）
◆MFC系統(tǒng)
◆壓力控制器范圍：100-300mbar

真空

◆渦輪分子泵+干式初級泵

CVD控制器

◆電腦控制器配方驅(qū)動操作
◆遠程控制、檢測、系統(tǒng)升級
◆基板攝像頭（可選）
◆ 高溫計范圍：400-1700°C