目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>熱蒸發鍍膜儀>> CY-EVH600R-II-HH-SS卷繞式高真空蒸發鍍膜儀
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
本儀器是一種卷繞式高真空蒸發鍍膜儀，鎢絲籃（或鎢舟）用作蒸發源，并且樣品臺和蒸發源之間的距離是可調的。 該儀器可以穩定地蒸發金屬和某些有機物。 采用高真空不銹鋼腔體，密封性能好，真空性能好。 該腔室配有觀察窗，因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統的**真空10E-4Pa，可有效提高涂層質量，并能滿足大多數蒸發涂層實驗所需的真空環境。
卷繞式蒸發鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長，大多數金屬和某些有機材料薄膜，如金屬、半導體、氧化物等。
產品名稱 | 卷繞式高真空蒸發鍍膜儀 | |
產品型號 | CY-EVH600R-II-HH-SS | |
供電電壓 | 單相，AC220V, 50Hz | |
真空腔體 | 內壁處理 | 電解拋光 |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
腔體尺寸 | 臥式Φ600mm×500mm | |
觀察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
卷繞系統 | 收放卷 | Φ200mmx300mm |
速度 | 60m/min（可調） | |
張緊 | 可調 | |
蒸發源和電源 | 部件數量 | 1套金屬蒸發源，帶獨立擋板 |
電極電壓 | 10V | |
送絲速度 | ≤3m/min | |
蒸發電流 | 功率2KW，*大電流為160A，調節精度為1A
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蒸發器 | 鎢舟，1個 | |
真空系統 | 前級泵 | 雙極旋片泵，抽速1.1L/s |
渦輪分子泵 | 抽速：600L/s； 額定轉速：24000rpm； 啟動時間：≦4.5min 冷卻方式：水冷+空冷 進氣接口：ISO150 出氣接口：KF40 真空度：5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar) 抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的時間少于40分鐘 | |
復合真空計 | 測量范圍 105Pa~10-5Pa | |
膜厚監測儀 | 測量精度 | 0.1? |
測量速度 | 100ms-1s/次 | |
可設置測量范圍 | 500000?（鋁） | |
標準傳感器晶體 | 6MHz | |
適用晶體尺寸 | Φ14mm (標配10片) | |
空壓機 | 作用于電控氣動閥 | |
水冷機 | 冷卻水溫度：≦37℃ 流速：10L/min 功率：0.1KW 冷卻功率：50W/℃ 水箱容量：9L | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制器 | |
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