目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>熱蒸發(fā)鍍膜儀>> CY-EBH500-SS半導(dǎo)體薄膜電子束蒸發(fā)鍍膜儀
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
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該設(shè)備以半導(dǎo)體薄膜電子束蒸發(fā)鍍膜儀，主要用于制備各種導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜，微納器件微加工，電鏡樣品預(yù)處理等，尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質(zhì)襯底，也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜.
產(chǎn)品名稱 | 電子束蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-EBH500-SS | |
樣品臺 | 外形尺寸 | <150mm，樣品臺可旋轉(zhuǎn) |
可調(diào)溫度 | ≦500℃ | |
電子槍 | 新型電子槍，6孔坩堝 | |
加熱燈 | 4只鹵素加熱燈用于除氣，1個氖燈用于照明 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | Φ500*H500mm |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚測量 | 采用SQM160膜厚儀進(jìn)行監(jiān)控，涂層厚度不均勻度小于6%。 | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測量 | 復(fù)合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-5Pa | |
水冷系統(tǒng) | 水壓<2.5bar 水壓監(jiān)測 | |
加熱燈 | 4只鹵素加熱燈用于除氣，1個氖燈用于照明 | |
電極接口 | 帶2路金屬蒸發(fā)電極接口 | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | AC380V,50Hz |
整機(jī)尺寸 | 1000mm×800mm×1500mm | |
整機(jī)功率 | 20KW | |
整機(jī)重量 | 350kg | |
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