目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>熱蒸發鍍膜儀>> CY-EVV195-II-HH-SS-HV高真空水冷熱蒸發鍍膜儀
產地類別 | 國產 | 價格區間 | 10萬-30萬 |
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應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
高真空水冷熱蒸發鍍膜儀,鎢絲籃(或鎢舟)用作蒸發源,并且樣品臺和蒸發源之間的距離是可調的。 該儀器可以穩定地蒸發金屬和某些有機物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。 該腔室配有觀察窗,因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統的**真空10E-5Pa,可有效提高涂層質量,并能滿足大多數蒸發涂層實驗所需的真空環境.
本儀器適用于蒸發涂覆大多數金屬和某些有機材料薄膜。
產品名稱 | 雙源溫控型高真空熱蒸發鍍膜儀 | |
產品型號 | CY-EVV195-II-HH-SS-HV | |
樣品臺 | 位 置 | 頂部設置 |
外形尺寸 | 直徑φ65mm | |
轉 速 | 0-20 rpm | |
間 距 | 樣品架和蒸發源之間的距離可調 | |
可調溫度 | ≦500℃ | |
熱蒸發源 | 鎢絲籃×2個,鎢舟×2個 | |
蒸發電源 | 每個蒸發源配一組獨立電源;雙個蒸發源可同時共蒸 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ180mm×H210mm |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
腔體材質 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀(也可選膜厚控制儀) | |
真空系統 | 前級泵 | 雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S |
次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測量 | 復合真空計(電離規+電阻規) | |
系統真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制器 | |
其他參數 | 供電電源 | AC380V,50Hz |
整機尺寸 | 600mm×650mm×1500mm | |
整機功率 | 7KW | |
整機重量 | 260kg |